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當(dāng)前位置：> 供求商機(jī)> HPR-80-活潑性/腐蝕性氣體分析儀
產(chǎn)地：英國Hiden公司
更新時間：2025-03-17 21:00:07
有效期：2025年3月17日 -- 2025年9月17日
已獲點(diǎn)擊：239
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應(yīng)用：
• 等離子體/反應(yīng)性離子蝕刻研究
• CVD / PVD / MOCVD
• 半導(dǎo)體晶片加工研究
• 真空、等離子體過程
• 活性物質(zhì)定量分析
• HF，HCl，HBr，CFC 研究
特點(diǎn)：
• 加熱的電拋光波紋管，快速偶合連結(jié)器
• 可清除的，帶粘性流QIC校正的進(jìn)樣口用于定量分析
• 高靈敏度至 5 ppb, 質(zhì)量數(shù)為 2500 amu.
• 進(jìn)樣壓力從 1 mtorr 至大氣壓
• 電容壓力計(jì)，壓力檢測可不受分析物影響
• 穩(wěn)定性好 (24h之上，小于峰高±0.5% )
• 軟件 MASsoft 控制
• 矩陣反演，歸一化及單峰參考
應(yīng)用：
• 等離子體/反應(yīng)性離子蝕刻研究
• CVD / PVD / MOCVD
• 半導(dǎo)體晶片加工研究
• 真空、等離子體過程
• 活性物質(zhì)定量分析
• HF，HCl，HBr，CFC 研究
特點(diǎn)：
• 加熱的電拋光波紋管，快速偶合連結(jié)器
• 可清除的，帶粘性流QIC校正的進(jìn)樣口用于定量分析
• 高靈敏度至 5 ppb, 質(zhì)量數(shù)為 2500 amu.
• 進(jìn)樣壓力從 1 mtorr 至大氣壓
• 電容壓力計(jì)，壓力檢測可不受分析物影響
• 穩(wěn)定性好 (24h之上，小于峰高±0.5% )
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