英國Prior的物鏡對焦模塊

OP800壓電納米物鏡聚焦臺由于功能性也可以叫做電動Z軸，是英國Prior旗下子公司Queenstage生產(chǎn)的物鏡對焦模塊，型號為NanoScan OP800。NanoScan OP800特殊的機(jī)械設(shè)計(jì)和集成的電容反饋傳感器，使該產(chǎn)品具有定位精度和分辨率的特點(diǎn)，可提供在納米物鏡定位中較快的步進(jìn)與穩(wěn)定時間。

OP800納米物鏡掃描臺的特點(diǎn)：

-800um閉環(huán)行程范圍(950um開環(huán)行程范圍)

-在較大重量下也能快速到響應(yīng)

-電容式定位傳感器為此納米物鏡定位器提供低納米級定位和最佳分辨率穩(wěn)定性(低漂移)和可重復(fù)性

-堅(jiān)固的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使OP800納米壓電物鏡定位臺 可以在常規(guī)配置下承載重物

-使用不銹鋼材料，提供更大的機(jī)械剛度（更快的速度）和溫度穩(wěn)定性（更低的漂移）

-可用于正置顯微鏡和倒置顯微鏡

-平臺是彎曲導(dǎo)向系統(tǒng)。無摩擦撓曲件設(shè)計(jì)用于提供高剛度并大程度地減少離軸運(yùn)動，從而提供高可重復(fù)性和更快的循環(huán)時間

-經(jīng)過測試，可以運(yùn)行超過1000萬次完整范圍的周期。

-具有內(nèi)置級校準(zhǔn)的連接器提供可互換的即插即用電子器件，縮短了系統(tǒng)停機(jī)時間

-自動在行程范圍內(nèi)進(jìn)行中心校準(zhǔn)，確保設(shè)備在所有適當(dāng)?shù)沫h(huán)境下進(jìn)行全范圍掃描

OP800壓電納米物鏡聚焦臺的主要應(yīng)用：

-用于光學(xué)切片生成3D圖像

-用于延時成像系統(tǒng)的自動對焦模塊

-高內(nèi)涵篩選

-表面分析

-晶圓檢測

-掃描干涉儀

-多光子顯微鏡

英國Prior的物鏡對焦模塊