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近30年來(lái)Werth專(zhuān)注于多傳感器的復(fù)合式三座標(biāo)測(cè)量機(jī)的開(kāi)發(fā)。主要有三大系列(Scope、Video、Tomo)的測(cè)量機(jī)。
其中，Werth UA超高精度復(fù)合式光學(xué)三坐標(biāo)是世界精度zui高的復(fù)合式光學(xué)測(cè)量機(jī)。Werth UA單軸精度可高達(dá)0.15μm，為復(fù)合式三坐標(biāo)zui高的溯源標(biāo)準(zhǔn)。
Werth UA超高精度復(fù)合式光學(xué)三坐標(biāo)主要特點(diǎn)：
◆高精度固定橋式復(fù)合式光學(xué)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)。
◆應(yīng)用于高精度零件的測(cè)量及3D微米級(jí)測(cè)量（非接觸測(cè)量、光纖測(cè)頭測(cè)量）。
◆低擾動(dòng)的精密空氣軸承、機(jī)體設(shè)計(jì)和堅(jiān)固的大理石結(jié)構(gòu)，內(nèi)置減震器系統(tǒng)。
◆Z軸自動(dòng)聚焦。
◆在入射光和透射光狀態(tài)下，均可對(duì)復(fù)雜幾何元素進(jìn)行自動(dòng)圖形處理及測(cè)量。
◆可選配接觸式測(cè)頭、點(diǎn)激光、線(xiàn)激光、光纖、色敏(適用測(cè)量透明工件)各種傳感器及彩色CCD圖像處理系統(tǒng)。
技術(shù)參數(shù)：
| 型號(hào) | VideoCheck-UA | |
| 測(cè)量范圍 | (X軸) | 400mm |
| (Y軸) | 400mm | |
| (Z軸) | 200mm | |
| zui大允許測(cè)量誤差1) | (E1單軸精度） | (0.15+L(mm)/900)μm |
| (E2平面精度） | (0.50+L(mm)/600)μm | |
| (E3空間精度） | (0.75+L(mm)/500)μm | |
| zui大允許測(cè)量誤差2) | (E1單軸精度） | (0.15+L(mm)/500)μm |
| (E2平面精度） | (0.50+L(mm)/400)μm | |
| (E3空間精度） | (0.75+L(mm)/300)μm | |
| 分辨率 | 0.001μm | |
| 工作臺(tái)承重 | 150kg(300kg可選) | |
| 定位速度 | 60mm/s | |
| 加速度 | 50mm/s2 | |
| 頻率 | 48-62Hz | |
| 氣壓 | 7-10 bar | |
| 功耗 | 2500VA | |
| 儀器重量 | 1000kg | |
| 精度保證環(huán)境條件1) | 20℃±0.1 o Δ=0.1o/h | |
| 精度保證環(huán)境條件2) | 20℃±1 o Δ=0.5 o/h | |
| 精度檢定光學(xué)放大倍率 | 20X | |
| 濕度 | 40-70rel. | |
| 空氣指標(biāo) | max.0.05mg/m3 | |
| 適用溫度 | 10-35℃ | |
