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有哪些情況可以對燒結(jié)爐采取緊急操作

時間:2022-10-24 閱讀:1090
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  燒結(jié)爐是一種在高溫下,使陶瓷生坯固體顆粒的相互鍵聯(lián),晶粒長大,空隙(氣孔)和晶界漸趨減少,通過物質(zhì)的傳遞,其總體積收縮,密度增加,最后成為具有某種顯微結(jié)構(gòu)的致密多晶燒結(jié)體的爐具。
  真空燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝,可進行真空燒結(jié),氣體保護燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié),是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備,它設(shè)計構(gòu)思新穎,操作方便,結(jié)構(gòu)緊湊,在一臺設(shè)備上可完成多個工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理,真空釬焊等工藝。但是你知道真空燒結(jié)爐遇到以下三種情況可以采取的應(yīng)急措施嗎?
  一、停電
  1、停電時,如果斷水,應(yīng)立即接通備用的冷卻水,接通水源。
  2、如果在非升溫、加熱和冷卻時,能夠盡快恢復(fù)時,重新啟動設(shè)備,繼續(xù)運轉(zhuǎn)如需要較長時間,則將設(shè)備保持原狀。
  3、如果正在加熱和冷卻時,能夠盡快恢復(fù)時,重新啟動設(shè)備,如果需要較長時間時,則保持原狀,讓設(shè)備自然冷卻下來。
  二、加熱電源掉電
  1、水壓低,當水壓低于0.15MPa,壓力表報警。
  2、接地故障。
  3、真空放電,水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固,與反射屏絕緣要好。
  4、若爐內(nèi)壓力為13.3-66.5Pa時(此真空度容易發(fā)生放電)。電源出現(xiàn)故障,掉電的原因可以認為由于電介質(zhì)擊穿而引起的放電。
  三、充氣氣體停止
  1、抽真空開始前,氣體充入時間長或者無法充入時,請確認氣體管路是否被堵塞。
  2、如氣體管路沒問題,檢查電磁閥及氣體充氣閥的動作,為了安全與其相關(guān)聯(lián)的設(shè)備要全部停止后再進行檢查。
  3、向真空室內(nèi)充氣不能停止的情況下,泄壓閥動作如泄壓閥動作時,要關(guān)閉氣體供給閥及配管在內(nèi)的所有氣體系統(tǒng)。
  4、確認氣體充氣配管是否有漏氣的地方,如有會影響制品質(zhì)量。

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