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超高精度直接驅(qū)動(dòng)垂直線性平移臺(tái)：XMS-V 系列通過在經(jīng)過驗(yàn)證的 XMS 設(shè)計(jì)中添加平衡機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)超精密垂直運(yùn)動(dòng)。在所有垂直平移臺(tái)中，XMS-V 具有超佳的 MIM 和雙向重復(fù)性，且速度快。超高性能的垂直平移臺(tái)，具有出色的精度、重復(fù)性和 MIM。非接觸直接驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，可平衡超精密、高動(dòng)態(tài)運(yùn)動(dòng)和可靠操作。超大型無鐵心高效率線性電機(jī)可大限度地減少發(fā)熱。*抗蠕變交叉滾子軸承可以在不移動(dòng)軸承罩的情況下確保無波紋運(yùn)動(dòng)。兩種類型的平衡可用：氣動(dòng)型或可自動(dòng)防故障的磁性型。

超高精度直接驅(qū)動(dòng)垂直線性平移臺(tái)有如下特征：

高精密和平滑運(yùn)動(dòng)：無鐵直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)支持高動(dòng)態(tài)運(yùn)動(dòng)，基本上沒有反沖、滯后、卷繞或靜摩擦；導(dǎo)致持續(xù)降低和更多可重復(fù)的跳動(dòng)。此外，由于沒有驅(qū)動(dòng)螺絲，可實(shí)現(xiàn)高精密定位所需的的無波紋運(yùn)動(dòng)

高精密線性編碼器：高精密玻璃線性編碼器可提供精確的位置反饋，支持 50 nm 的 MIM。該低熱膨脹標(biāo)尺的精確對(duì)準(zhǔn)和安裝使溫度變化對(duì)平移臺(tái)重復(fù)性和精度的影響降至低。

平衡選項(xiàng):直接驅(qū)動(dòng)電機(jī)、借助于平衡負(fù)載、抵消重力的影響、減輕電機(jī)的工作并具有線性電機(jī)的所有優(yōu)勢(shì)。氣動(dòng)平衡選項(xiàng)可針對(duì)不同負(fù)載進(jìn)行調(diào)整。即使在切斷電機(jī)電源時(shí)，磁平衡選項(xiàng)也可防止托架向下漂移。

防蠕動(dòng)式交叉滾子軸承:與楔形設(shè)計(jì)相比，由相配對(duì)的抗蠕變交叉滾子軸承組成的直接垂直導(dǎo)軌，可在高靈敏度操作中實(shí)現(xiàn)的無波紋運(yùn)動(dòng)，同時(shí)防止罩移位。