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NightN斐索干涉儀RIF
產品介紹：
NightN開發(fā)了斐索干涉儀RIF和配套軟件。該軟件旨在處理具有額外傾斜度的干涉圖案。
產品規(guī)格：
1. 孔徑：10 至 95 mm（可選高達 300 mm）
2. 工作頻率：高達 25 Hz
3. 測量精度：0.032 µm (P-V)
4. 測量像差：5 µm（P-V）
5. 光源：二極管激光器
6. 波長：0.65 µm
7. CCD：FireWire接口相機
軟件特色：
1. 可處理實時圖像或保存為 .bmp 圖像
2. 測量精度約為λ/400
3. 結果顯示為 Zernike 多項式系數、P-V 和 RMS 值，相位分布的 2D 和 3D 表示
為了獲得被測表面的信息，在 x 方向引入傾斜，并獲得 8 到 60 條干涉條紋處理過程包括：
1. 獲取干涉圖案圖像（或從 .bmp 文件加載）
2. 確定感興趣的區(qū)域
3. 過濾數據，排除假極值
4. 尋找極值
5 將相位轉化為極值坐標的表示形式，通過 Zernike 多項式分解、計算峰-谷誤差，均方根（RMS）和點擴散函數（PSF）
軟件界面
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