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貨物所在地：上海上海市
更新時(shí)間：2025-03-17 21:00:07
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荷蘭ISTEQ公司TEUS系列EUV光源
產(chǎn)品介紹：
ISTEQ公司開發(fā)了一種基于激光產(chǎn)生等離子體（LPP）的EUV光源。該光源具有ji高的亮度和ji高的穩(wěn)定性。它采用可自刷新的材料，無需中斷和更換燃料盒，因此持續(xù)運(yùn)行時(shí)間極長(zhǎng)。
ISTEQ公司為L(zhǎng)PP光源開發(fā)的燃料是針對(duì)特定應(yīng)用的光譜范圍而設(shè)計(jì)的。然而，對(duì)于掩模檢查的應(yīng)用，公司開發(fā)了一種高頻錫旋轉(zhuǎn)靶，已在全球范圍內(nèi)獲得專li。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
·高亮度以及出色的穩(wěn)定性
·最少的碎片
·ji高的正常運(yùn)行時(shí)間
·高占空比和交鑰匙操作
·用戶友好的自動(dòng)化協(xié)議，確保系統(tǒng)平穩(wěn)運(yùn)行，沒有中斷的風(fēng)險(xiǎn)。
產(chǎn)品應(yīng)用：
·掩模和表面檢查：
·圖案掩模檢測(cè) (PMI)
·區(qū)域掩模檢測(cè) (AIMS)
·掩?？瞻讬z測(cè) (MBI)
·EUV 掃描儀檢
·材料科學(xué)
·晶圓檢查
TEUS 系列激光等離子體光源 |
型號(hào)參數(shù)：
型號(hào) | TEUS S-100 | TEUS S-200 | TEUS S-400 |
激光平均功率100 | 400 | ||
脈沖重頻25或50或100或EUV功率立體角0.05 | |||
等離子體尺寸m | 60或≤ 4≤ (13.5 nm±2 % @2π·sr or 1.6% @2π·sr | ||
碎片處理系統(tǒng)后角內(nèi)光通量11 或22 或44 或W/mm2·sr | 80或≥≥ 280 | 310或≥ 3% rms | |
在10% | 不少于4個(gè)月 | 不少于24/7運(yùn)行狀態(tài)下，使用特殊膜過濾器情況下，收集器壽命下降18個(gè)月 | 不少于4個(gè)月 |
維護(hù)時(shí)間間隔 | - 1 天 | - 2天 | - 1天 |
*** | 3個(gè)月 | 5 kW | 10.5 kW |
尺寸（長(zhǎng)×寬×高）1500×1200 | |||
重量，包括激光組件770 | |||
房間潔凈度等級(jí) | 10升15升25升/分鐘 | ||
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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