Cressington高性能鍍金鍍碳儀108+108C說(shuō)明

時(shí)間：2016/8/30閱讀：1822

Cressington 108+108C 全自動(dòng)鍍金鍍碳聯(lián)用儀是高質(zhì)量的鍍膜儀系統(tǒng) ，在保證高性能鍍膜同時(shí)，不會(huì)引起鍍金與鍍碳的相互污染，提高儀器使用效率以及鍍膜精度。

Cressington

優(yōu)勢(shì)說(shuō)明：

●自動(dòng)的換氣與泄氣功能，可以得到一致的膜厚，和*的導(dǎo)電噴鍍效果。

●通過(guò)低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過(guò)程，避免樣品表面受損。

●操作容易快捷，可全自動(dòng)或手動(dòng)進(jìn)行噴鍍操作，控制的參數(shù)包括自動(dòng)放氣以及氬氣換氣控制。

●在自動(dòng)模式下，可通過(guò)兩種方式進(jìn)行控制鍍膜過(guò)程?？赏ㄟ^(guò)數(shù)字顯示器控制得到可重現(xiàn)的噴鍍效果。

●數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響，可得到一致的鍍膜速率和*的鍍膜效果。

●*的受反饋控制的碳棒蒸發(fā)系統(tǒng)可以在膜厚大約20nm左右進(jìn)行多次蒸發(fā)，無(wú)須切削或調(diào)整碳棒形狀。

●108C Auto中使用的高純碳棒可以在高倍條件下得到高質(zhì)量的鍍膜效果。該鍍膜系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊，容易操作，抽真空周期短。選件MTM-10高分辨膜厚監(jiān)控儀可以地得到所需的碳膜厚度。

●使用新型的蒸發(fā)裝置：電流和電壓通過(guò)磁控頭的傳感線監(jiān)控，蒸發(fā)源作為反饋回路中的一部分被控制。該蒸發(fā)裝置使常規(guī)的碳棒具有優(yōu)良的穩(wěn)定性和重現(xiàn)性。功率消耗低，碳棒具有優(yōu)異的重新蒸鍍特性。蒸發(fā)源可以通過(guò)脈沖或連續(xù)的方式操作。

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