 | 河南三特爐業(yè)科技有限公司 |
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[供應(yīng)]STGC-60-17-1700℃-CVD管式爐
產(chǎn)地：河南三特爐業(yè)科技有限公司
更新時間：2024-11-27 21:00:07
有效期：2024年11月27日 -- 2025年5月27日
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【爐管尺寸】φ25--φ120mm
【加熱區(qū)】300mm
【額定溫度】1700℃
【控溫精度】±1℃
【應(yīng)用領(lǐng)域】化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法，是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用最為廣泛的用來沉積多種材料的技術(shù)，包括大范圍的絕緣材料，大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。
【產(chǎn)品名稱】1700℃-CVD管式爐
【爐管尺寸】φ25--φ120mm
【加熱區(qū)】300mm
【額定溫度】1700℃
【控溫精度】±1℃
【應(yīng)用領(lǐng)域】1700℃-CVD管式爐是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法，是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用最為廣泛的用來沉積多種材料的技術(shù)，包括大范圍的絕緣材料，大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。
一、 產(chǎn)品描述
系列產(chǎn)品主要針對在真空或者保護氣氛下對樣品的熱處理，優(yōu)質(zhì)的爐膛材料和穩(wěn)定的溫度控制系統(tǒng)，可保證實驗數(shù)據(jù)的可靠性；產(chǎn)品采用新型陶瓷纖維材料作為爐膛材料，爐管材質(zhì)優(yōu)良，爐管兩端不銹鋼法蘭密封，可在真空下工作，法蘭上有進氣口和出氣口，可通入保護氣體，精密針型閥可調(diào)節(jié)進氣流量。
二、產(chǎn)品特點
1、 爐膛材料選用高純氧化鋁陶瓷纖維材料，新型拼裝結(jié)構(gòu)，高溫不變形、堅固耐用
2、 發(fā)熱體采用硅鉬棒，可承受負荷大，穩(wěn)定且使用壽命長
3、 爐管采用石英管，兩端不銹鋼法蘭設(shè)計簡單、合理、易拆卸，方便進出被燒結(jié)樣品
4、 升溫速度快，從室溫升到1700攝氏度，一般需要100分鐘
5、 采用智能PID溫控儀表，控溫精度高，沖溫小，具有溫度補償和溫度校正功能，精度為±1℃
6、 控溫儀表具有程序功能，可設(shè)定升溫曲線，可編程序30段
7、 一體式結(jié)構(gòu)，出色的外觀設(shè)計，美觀、大方
8、 電子元器件均采用德力西產(chǎn)品，帶有漏電保護功能
9、 本機對工作過程中的超溫會發(fā)出報警信號，并自動完成保護動作
10、當儀表程序設(shè)定完成后，只要按下運行按鈕，接下來的工作會自動完成
11、可選配大屏幕無紙記錄儀，實現(xiàn)對升溫曲線的實時記錄，并帶有存儲卡可對實驗數(shù)據(jù)進行分析和打印
12、可選配氣體質(zhì)量流量計，通入氣體可數(shù)字精確控制
型號 | STGC-25-17 | STGC-40-17 | STGC-60-17 | STGC-80-17 | STGC-100-17 | STGC-120-17 |
爐管尺寸 | Φ25 x 900mm | Φ40 x 900mm | Φ60 x 900mm | Φ80 x 900mm | Φ100 x 900mm | Φ120 x 900mm |
額定溫度 | 1700℃ | |||||
工作溫度 | 1600℃ | |||||
加熱區(qū)尺寸 | 300mm | |||||
電源電壓 | 220V/2KW | 220V/3KW | 220V/4KW | 220V/5KW | 220V/5KW | 220V/8KW |
加熱元件 | U型硅鉬棒 | |||||
爐膛材料 | 濕法真空抽濾成型制備的多晶無機氧化鋁陶瓷纖維材料 | |||||
爐管材料 | 剛玉管 | |||||
控溫精度 | ±1℃ | |||||
測溫元件 | B型鉑銠熱電偶 | |||||
溫控儀表 | 智能微電腦PID溫控儀表，SCR/SSR控制，PID參數(shù)自整定功能；可編程序30個時段，程序升溫、程序保溫、程序降溫 | |||||
升溫速度 | 1-15℃/min自由調(diào)節(jié) | |||||
爐體結(jié)構(gòu) | 爐膛溫控一體式結(jié)構(gòu)，雙層外殼，空氣循環(huán)隔熱 | |||||
密封性能 | 爐管兩端裝有不銹鋼金屬法蘭，配套高溫 PTFE 墊圈，可在真空下進行工作， 密封真空度≤0.0001pa | |||||
氣氛性能 | 法蘭兩端有進氣口和出氣口，壓力表裝在金屬法蘭上，精密針型閥可調(diào)節(jié)進氣和出氣量，可通入氮氣、氬氣、氫氣等保護氣體 | |||||
真空獲得 | 配套獨立的真空獲得系統(tǒng)，系統(tǒng)內(nèi)配有1臺雙極旋片式真空泵和數(shù)字真空計，包括不銹鋼波紋管和擋板閥等組件，系統(tǒng)真空度≤5pa，還可以選擇分子泵機組 | |||||
氣路系統(tǒng) | 配套獨立的氣路系統(tǒng)，系統(tǒng)有三路浮子流量計組成，有混氣室，可單進單出也可三路氣體混氣后進入管式爐系統(tǒng)，浮子流量計量程：60-600ml/min；也可選擇自動質(zhì)量流量計系統(tǒng)，控制精度±1.5%FS，重復(fù)精度±0.2%FS，量程：一路0-100SCCM，二路0-200SCCM，三路0-500SCCM | |||||
設(shè)備保護 | 模塊化控制，對工作過程中的超溫、斷偶會發(fā)出聲光報警信號，并自動完成保護動作 | |||||
人員保護 | 在設(shè)備上裝有空開斷路器，如發(fā)生短路漏電情況時會自動彈開，能保護設(shè)備和操作人員 | |||||
外殼 | 優(yōu)質(zhì)冷軋鋼板數(shù)控機床下料加工，經(jīng)過焊接、打磨、拋光、磷化、酸洗、表面靜電噴涂塑粉 | |||||
質(zhì)量認證 | ISO9001 CE SGS | |||||
標準配置 | 1、爐體一臺 2、溫度控制器一臺 3、電源線3米 4、熱電偶一支 5、說明書一份 6、爐鉤一把 7、高溫手套一雙 8、管堵二個 9、密封法蘭一套 | |||||
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