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奧林巴斯半導(dǎo)體檢測顯微鏡MX61L/ MX61使用說明

閱讀:2855        發(fā)布時間:2018-7-16

奧林巴斯半導(dǎo)體檢測顯微鏡MX61L/ MX61, 300 mm/200 mm半導(dǎo)體檢查顯微鏡通過各種觀察方法--明視場法、暗視場法、微分干涉法(DIC)、熒光法、紅外線法和深紫外線法,的光學(xué)系統(tǒng)保證了的圖像分辨率和鮮明度。向您推薦的好的半導(dǎo)體檢測顯微鏡。

    前面板在對比度的決定上起重要作用的孔徑光闌(AS)的開閉調(diào)節(jié),與物鏡的切換和觀察模式連動,用一個按鈕就可以操作。此外,用一個手指就可以調(diào)光的旋鈕也配置在前面板上,從而提高了檢查速度。物鏡和孔徑光闌(AS)的按鈕分別斜向配置,手不離開對焦手柄,只要輕動大拇指就可以操作。這個按鈕的傾斜式設(shè)計提高了手指尖的感知度,能夠防止錯誤操作。

                     

                           [1] 照明強(qiáng)度旋鈕   [2] 物鏡倍率切換    [3] 孔徑光闌調(diào)節(jié)

 

                 

     觀察姿勢迅速到位的傾斜鏡筒,為了適應(yīng)視點(diǎn)而調(diào)整座椅的高度,或是以不合理的姿勢進(jìn)行檢查的話會浪費(fèi)時間,降低工作速度。但是,配備傾斜角度為0°~42°(可變高度為150 mm,SEMI S8對應(yīng))的傾斜鏡筒,可采取與檢查者體格無關(guān)的舒適觀察姿勢,甚至可以站立檢查。此外,這一款鏡筒拉長了從觀察中心軸到觀察者視點(diǎn)的距離,可以在較大的平臺上輕松操作。

                  

      高靈敏度載物臺可以迅速決定位置,對應(yīng)300 mm晶圓/17英寸面板的MX-SIC1412R2載物臺有較大的透射照明范圍(Y方向284 mm)。另外,內(nèi)置離合器的載物臺手柄,可切換粗調(diào)和微調(diào)。在顯微鏡觀察的同時能自由地移動載物臺,快速完成檢查。

      物鏡是觀察樣品的照明和觀察的重要部件,奧林巴斯有應(yīng)對多種多樣的觀察方法、長工作距離、紅外光及LCD檢查用的齊全的物鏡產(chǎn)品陣容可供選擇。

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