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直線度測量—API XD的方法應(yīng)用的PSD技術(shù) (光電位置敏感檢測器。它可將光敏面上的光點(diǎn)位置轉(zhuǎn)化為電信號) 不怕斷光，可用于導(dǎo)軌的安裝調(diào)試(類似于自準(zhǔn)直儀) 對直線度進(jìn)行1:1的測量可一次性安裝, 與線性誤差一起測量, 方便, 快速

垂直度測量—API XD的方法 API XD激光干涉儀是通過PSD技術(shù)1:1進(jìn)行直線度測量的，所以API干涉儀測兩軸垂直度時(shí)只需一個(gè)五角棱鏡既可，無需其他鏡組. 裝/調(diào)非常方便快速在測兩軸的垂直度的同時(shí)，兩軸各自的線性定位誤差、直線度，偏擺角、俯仰角都可一次測出，大大節(jié)省了測量所占用機(jī)床的時(shí)間，也可避免人為差錯

偏擺角/俯仰角測量—API XD的方法的PSD技術(shù)來測量小角度: 當(dāng)入射光經(jīng)分光鏡射到凸透鏡上后，如果軸無角度變化，則光線經(jīng)透鏡聚在焦點(diǎn)上；如果軸有角度變化，則光線會在焦平面上的PSD 光靶上得到兩個(gè)方向的坐標(biāo)值，從而與焦距比較得出角度值測量角度過程中不怕斷光, 可用于導(dǎo)軌的安裝調(diào)試不受滾動角的影響，調(diào)整光路容易、精確