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中國臺灣陽明光電式漏液檢測器
※ 高穩(wěn)定性
※ 高抗干擾力
※ 微量漏液檢出
※ 小型堅固外形
※ 耐腐蝕外殼材質(zhì)
需要快速檢測出有無滲液，漏液，應(yīng)用場合，及時發(fā)現(xiàn)設(shè)備故障，避免更大損失。
廣泛用于半導(dǎo)體濕法工藝設(shè)備，單片晶圓清洗，槽式清洗，涂膠顯影，CMP研磨設(shè)備等。
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