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合肥辰越自動(dòng)化工程有限公司

LS高速中空軸電機(jī)在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用

時(shí)間:2023-7-28閱讀:3086
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LS高速中空軸電機(jī)在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用

隨著國內(nèi)的半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展,制程設(shè)備關(guān)鍵零部件,LS特研制出的空心軸高速伺服電機(jī),有著20多年行業(yè)應(yīng)用。服務(wù)于半導(dǎo)體涂膠、顯影、清洗設(shè)備中,吸附晶圓工藝,該電機(jī)具備高加速度,速度范圍寬,高響應(yīng)性等特點(diǎn),在業(yè)內(nèi)廣受客戶好評。

一、Spinner  Motor中空軸電機(jī)的特點(diǎn)

1、中空軸高速電機(jī)結(jié)構(gòu):額定轉(zhuǎn)速:5000rpm,最大轉(zhuǎn)速6000-8000rpm

2、超快的加速/減速時(shí)間

3、低噪音、低震動(dòng)、軸端跳動(dòng)系數(shù)低至;

4、軸孔采用真空空心軸設(shè)計(jì),軸端個(gè)性化的設(shè)計(jì),確保chunk運(yùn)行平穩(wěn)

5、電機(jī)功率:750W,采用水冷卻系統(tǒng)設(shè)計(jì),符合6、8、12晶圓的要求

6、針對不同用戶可以為客戶進(jìn)行軸端定制化設(shè)計(jì)

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二、高速中空電機(jī)的應(yīng)用范圍:
1、曝光顯影設(shè)備 (涂膠,顯影) 光刻加工程序的主要設(shè)備及掌控涂層,曝光,顯影。
2、清洗、涂膠、顯影去膜設(shè)備。
3、適用于物理沖洗清潔、顆粒清洗及噴霧工藝。

三、高速中空軸伺服產(chǎn)品規(guī)格及應(yīng)用領(lǐng)域

1、 750W – 5000 , 6000 rpm

2、應(yīng)用領(lǐng)域(機(jī)型)

l 8寸、 12寸半導(dǎo)體設(shè)備

l 涂膠、顯影、清洗、刻蝕等工藝

l 瞬時(shí)加速

l 特殊的軸端設(shè)計(jì),確保軸端負(fù)載跳動(dòng)平穩(wěn)

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