●半導(dǎo)體晶圓

●半導(dǎo)體掩膜版基板

●同步輻射

●光刻機(jī)光學(xué)元件

●航空航天折返成像系統(tǒng)

●空間光學(xué)器件

●強(qiáng)激光平板玻璃測(cè)量等

實(shí)現(xiàn)大口徑光學(xué)表面面形、透射波前、光學(xué)均勻性等參數(shù)的檢測(cè)。

（2）產(chǎn)品綜述

300mm通用組合水平式檢測(cè)干涉儀是慧利儀器“大口徑相移式激光干涉儀系列產(chǎn)品之一。它采用經(jīng)典的斐索型共光路設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、在適用于多種被測(cè)樣品的前提下，使用數(shù)字化相移分析方法實(shí)現(xiàn)高精度、多功能的檢測(cè)。

慧利儀器300mm通用組合水平式檢測(cè)干涉儀不僅實(shí)現(xiàn)了干涉測(cè)量技術(shù)從小口徑到大口徑的更新拓展，而且填了國(guó)內(nèi)制造業(yè)和國(guó)家質(zhì)檢部]對(duì)高精度平面檢測(cè)設(shè)備需求的空白。

（3）參數(shù)性能

◆材質(zhì)均勻性

◆超精密平面/球面面形測(cè)量

◆光學(xué)系統(tǒng)裝調(diào)和校準(zhǔn)

◆光學(xué)組件透射波前測(cè)量

◆光學(xué)均勻性測(cè)量

◆平行度測(cè)量

◆角錐角度測(cè)量

我們會(huì)傾聽(tīng)您的需求，支持特殊需求定制

部分客戶(hù)群體：蘇州計(jì)量院,上海計(jì)量院,福建計(jì)量院,上海光機(jī)所,石家莊13所,上海現(xiàn)代*進(jìn)超精密制造中心有限公司UPEC,長(zhǎng)春理工,上海理工等。