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工藝設(shè)備：真空鍍膜機；離子束刻蝕機，ICP刻蝕機，IBE刻蝕機；等

產(chǎn)品線豐富，元素分析:原子吸收,氣相色譜，液相色譜，氣質(zhì)聯(lián)用，紫外分光光度計等；

            熱分析等；紅外光譜儀

            材料表面分析：原子力顯微鏡，光學(xué)輪廓儀，摩擦磨損試驗機，等；

            通用分析：掃描電鏡，

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