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當(dāng)前位置：上海富瞻環(huán)?？萍加邢薰?/a>>>分析儀器>>X射線儀器>> 晶圓x射線晶體定向儀分揀系統(tǒng)XRD
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌Freiberg Instruments
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地上海市
更新時間：2024-11-02 11:28:55瀏覽次數(shù)：302次
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| 價格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | 雙晶衍射 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
晶圓x射線晶體定向儀分揀系統(tǒng)XRD
晶圓x射線晶體定向儀分揀系統(tǒng)用于全自動分揀、晶體取向、optical notch and flat determination測定等。Si | SiC | AlN | 藍(lán)寶石（Al2O3） | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多種材料。
產(chǎn)品介紹：
晶圓XRD的特點：
◇ 自動化的晶圓處理和分類系統(tǒng)（例如：盒到盒）。
◇ 晶體取向和電阻率測量
◇ 晶片的幾何特征（缺口位置、缺口深度、缺口開口角度、直徑、平面位置和平面長度）的光學(xué)測定
◇ 未拋光的晶圓和鏡面的距離測量
◇ MES和/或SECS/GEM接口
Omega-scan方法：
◇ 高的精度
◇ 測量速度： < 5秒/樣品
◇ 易于集成到工藝線中
◇ 典型的標(biāo)準(zhǔn)偏差傾斜度（例如：Si 100）： < 0.003 °，小于< 0.001 °。
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