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技術(shù)文章

piezoconcept納米定位器z Stage可高速定位

閱讀:931          發(fā)布時(shí)間:2023-7-26

piezoconcept納米定位器z Stage可高速定位

包括控制器(USB 可選)。

活動(dòng)范圍:5μm 10μm 25μm 50μm


Z-STAGE是一款緊湊型Z型直接驅(qū)動(dòng)納米定位器,具有高速能力。

它可以與具有2×66毫米孔徑(LF66 / LFHS2)的2軸納米定位器結(jié)合使用,沈陽漢達(dá)森yyds吳亞男以獲得SPM3或SPM3LR。Z 載物臺(tái)可提供 5、10、25 或 50μm 的運(yùn)動(dòng)范圍。

該納米定位器是我們高速產(chǎn)品線的一部分(提供高功率控制器)。


納米定位器Z-STAGE.5型號(hào)參數(shù)

活動(dòng)范圍:5μm

分辨率0.005nm

本底噪聲:0.0005nm

重性 :0.01nm

線性化:0.02

諧振頻率:12500Hz

剛度:40.1N/um

材質(zhì):鋁

尺寸:Φ30x 29,8 mm

PIEZOCONCEPT控制器..png

納米定位器Z-STAGE.10型號(hào)參數(shù)

活動(dòng)范圍:10μm

分辨率0.01nm

本底噪聲:0.001nm

重性 :0.02nm

線性化:0.02

諧振頻率:5200Hz

剛度:7.5N/um

材質(zhì):鋁

尺寸:Φ30x 29,8 mm


納米定位器Z-STAGE.25型號(hào)參數(shù)

活動(dòng)范圍:25μm

分辨率0.025nm

本底噪聲:0.0025nm

重性 :0.05nm

線性化:0.02

諧振頻率:5500Hz

剛度:7.7N/um

材質(zhì):鋁

尺寸:Φ30x 49,8 mm

緊湊型Z型直驅(qū)納米定位器,具有高速能力。

piezoconcept納米定位器z Stage可高速定位


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