光柵式示表檢定儀隨著的發(fā)展，電子式數(shù)字化并利用微機(jī)行數(shù)據(jù)處理的計(jì)量?jī)x器、裝置得到廣泛應(yīng)用，并在逐步替代老式傳統(tǒng)的純機(jī)械式儀器。用于檢定各類(lèi)示表示值誤差的光柵式示表檢定儀就是例。
作原理
光柵式示表檢定儀是利用光柵測(cè)長(zhǎng)原理，把直線(xiàn)位移變成電信號(hào)，經(jīng)前置放大、分相、整形、電子細(xì)分，將脈沖信號(hào)行記數(shù)和顯示，并利用微處理器行數(shù)據(jù)處理，由微型打印機(jī)打印出檢定數(shù)據(jù)和結(jié)果。其框圖如下 。
光柵測(cè)長(zhǎng)的原理是將光源發(fā)出的光，通過(guò)望遠(yuǎn)系統(tǒng)變?yōu)槠叫泄猓丈涞綎啪€(xiàn)面相對(duì)的透射式標(biāo)尺光柵和示光柵上，當(dāng)標(biāo)尺光柵相對(duì)固定的示光柵沿柵線(xiàn)垂直方向移動(dòng)時(shí)，則所產(chǎn)生的明暗相間的莫爾條紋沿柵線(xiàn)方向移動(dòng)。兩塊光柵尺相對(duì)移動(dòng)個(gè)柵距，莫爾條紋的光強(qiáng)周期地變化次，并掃過(guò)安放在示光柵前的四只光電元件，從而產(chǎn)生兩路正弦電信號(hào)，經(jīng)電路系統(tǒng)處理后，變成脈沖信號(hào)。由于儀器測(cè)桿與標(biāo)尺光柵剛性連接，故測(cè)桿位移L與脈沖信號(hào)的關(guān)系可用下式表達(dá)
L=A?N=
式中，A-脈沖當(dāng)量;n-電路細(xì)分能力;k-光柵線(xiàn)紋密度;N-脈沖數(shù)。
脈沖當(dāng)量是每個(gè)脈沖相當(dāng)?shù)奈灰瞥叽?。設(shè)n=100，k=100，N=1，則
L= ×1=0?1μm
上式說(shuō)明，當(dāng)采用100線(xiàn)光柵時(shí)，電信號(hào)經(jīng)過(guò)100細(xì)分后，測(cè)桿每移動(dòng)0?1μm，電路將給出個(gè)電脈沖。由微機(jī)記取脈沖數(shù)即可準(zhǔn)確地得到被測(cè)尺寸大小。
