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四探針方阻電阻率測試儀參照標準
一. 描述Description：
采用范德堡測量原理能解決樣品因幾何尺寸、邊界效應、探針不等距和機械游移等外部因素對測量結(jié)果的影響及誤差，提供通訊接口，PC軟件數(shù)據(jù)處理及數(shù)據(jù)分析.中文或英文語言版本.
二.參照標準standard：
硅片電阻率測量的標準（ASTM F84）及國家標準設計制造；GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》.
三.適用范圍Applicable scope：
適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗和分析半導體材料質(zhì)量的工具；液晶顯示，自動測量和系數(shù)補償，并帶有溫度補償功能，自動轉(zhuǎn)換量程；采用AD芯片控制，恒流輸出，選配：PC軟件，保存和打印數(shù)據(jù)，生成報表
用于：覆蓋膜;導電高分子膜，高、低溫電熱膜;隔熱、導電窗膜 導電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標簽、合金類箔膜;熔煉、燒結(jié)、濺射、涂覆、涂布層，電阻式、電容式觸屏薄膜;電**涂料，其他半導體材料、薄膜材料方阻測試等相關(guān)產(chǎn)品
四.型號及參數(shù)Models and technical parameters
規(guī)格型modelFT-331
1.方塊電阻范圍Sheet resistance 10-5～2×105Ω/□
2.電阻率范圍Resistivity 10-6～2×106Ω-cm
測試電流范圍
Test current 0.1μA ，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA
4.電流精度 Current accura±0.1%
5.電阻精度Resistance ≤0.3%
6.顯示讀數(shù)display液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率LCD: resistance. resistivity. sheet resistance. temperature. unit conversion.temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness. conductivity 7.測試方式test mode普通單電測量general single electrical measurement
8.工作電源power輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<30W
9.誤差errors≤4%（標準樣片結(jié)果 Standard Sample results）
10.選購功能choose to buy選購1.pc軟件； 選購2.方形探頭； 選購3.直線形探頭； 選購4.測試平臺；5.標準電阻
1.pc software; 2. square probe; 3. linear probe; 4. test Platform.
11.測試探頭Test probe探針間距選購：1mm；2mm；3mm三種規(guī)格; 探針材質(zhì)選購：碳化鎢針;白鋼針；鍍金磷銅半球形針Optional probe spacing: 1mm；2mm；3mm in three sizes.
Select probe material: tungsten carbide needle. white steel needle. gilded copper hemispherical needles.