1、 進(jìn)樣系統(tǒng)：溶液→氣溶膠（進(jìn)入ICP離子源）
2、 ICP離子源：氣溶膠→離子(去溶、氣化、解離、電離）
3、接口：離子進(jìn)入真空（界面層、等離子體電位與離子動(dòng)能）
4、離子在四極桿中被按質(zhì)荷比篩選
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