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全歐光學(xué)WaveMaster波前測量儀用于球面透鏡，非球面透鏡和光學(xué)系統(tǒng)的波前測量，集成了準(zhǔn)直系統(tǒng)，擴(kuò)束或縮束系統(tǒng)，高精度樣品臺，多種光源和WaveSensor波前傳感器。此傳感器采用夏克-哈特曼傳感器原理，用于平面、球面、非球面面型的檢測，光學(xué)系統(tǒng)像差檢測，輸出激光光束質(zhì)量檢測，光束動態(tài)變化檢測，自適應(yīng)系統(tǒng)波前的探測，并有針對大口徑光學(xué)和人工晶體波前檢測的解決方案。WaveMaster波前測量儀主要用來測量大型雙遠(yuǎn)心鏡頭的全場波前，還可給出被測樣品的面型（PV和RMS），澤尼克系數(shù)（Zernike），點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)（PSF），調(diào)制傳遞函數(shù)，斯特列爾比，楔角。同時，該產(chǎn)品也可用于人工晶體在空氣中或原位中的檢測，晶體低階和高階的相差，晶體的調(diào)制傳遞函數(shù)（MTF），晶體的點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)（PSF），晶體屈光度和像差。軟件具有多種模塊功能，簡單易用，用戶可根據(jù)需要進(jìn)行選擇。

WaveMaster® PRO系列產(chǎn)品是為了適應(yīng)波前質(zhì)量的大批量檢測的需求而研發(fā)的兩款儀器，可自行設(shè)置合格標(biāo)準(zhǔn)，并根據(jù)該標(biāo)準(zhǔn)自動判定合格和不合格。WaveMaster® PRO 2和WaveMaster® PRO 2 reflex配備托盤系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)對單個小鏡片的大批量檢測。WaveMaster® PRO Wafer則可以對晶圓級鏡頭的波前進(jìn)行快速檢測。

應(yīng)用范圍：

• 生產(chǎn)線上的大批量鏡頭波前和表面面形的檢測

• 晶圓級鏡頭的波前檢測