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北京恒奧德儀器儀表有限公司
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勻膠機選購巧旋轉涂覆術

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勻膠機選購巧旋轉涂覆術

 

選購巧

從其原理來說,可以看出選購勻膠機需要注意的幾個細節(jié)

 

旋轉速度

轉速的快慢和控制度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速誤差很大,對于要求密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數(shù)據(jù)的。產(chǎn)的某些勻膠機只能提供轉速范圍,并不能確標定實時的轉速。口的勻膠機雖然大分能標定轉速,但是大分轉速度沒有標準認定。建議購買轉速控制方面有認定標準的,比如:NIST標準等。

 

真空吸附系統(tǒng)的構

真空泵定要無油的,壓力標定準確,內生產(chǎn)的無油真空泵實在不敢恭維。因為何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,會導致基片吸附不住而產(chǎn)生"飛片"的情況,還會讓滴膠液不慎入真空管道系統(tǒng)成*堵塞。用過產(chǎn)勻膠機的客戶常常會關心怎么清洗的問題,這點許多外的勻膠機做得不錯,他們有通過聯(lián)動機制,如果真空吸附力不夠的時候,不會開始旋轉。

 

材質的選擇

對于半導體化行業(yè)的應用來說,材質的選擇尤為關鍵,大分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質,因為這種材質的成本很低,不銹鋼的對于各類化膠液的抗腐蝕性不太好,塑料對于較溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,將會導致旋涂時,時時低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。例如美等型號都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(特氟隆,PTFE)材質。這兩種材質具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點。


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