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技術文章

能研8710 - 氣體質量流量控制器的簡介

閱讀:446          發(fā)布時間:2024-5-28

8710 型質量流量控制器 (MFC) 尤其適用于腐蝕性氣體的質量流量控制,這類氣體需要一個介質隔離的傳感器。毛細管熱傳感器可以實現(xiàn)快速響應。一個直動式 Bürkert 比例閥作為執(zhí)行元件,確保了良好的響應靈敏度。集成 PI 控制器,令 MFC 具備的控制特性。8710 型設備可以針對兩種不同的氣體進行校準,用戶可以在兩者之間進行切換。作為電氣接口,既提供模擬標準信號,也提供現(xiàn)場總線。

  • 標稱流量范圍從 0.005 lN/min 至 15 lN/min

  • 測量精度和重復性高

  • 適用于腐蝕性氣體

  • 選配:現(xiàn)場總線接口



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