閥套和閥芯組成的滑閥副，該產(chǎn)品是是電動伺服系統(tǒng)中核心的組件，尺寸和形狀誤差都在微米級。
內(nèi)外徑間隙2-5um
閥芯圓柱度1-2um
閥套內(nèi)孔圓柱度1-2um

閥芯閥套綜合測量儀檢測系統(tǒng)由以下部分組成：

獨立的量儀用于測量閥芯。獨立的量儀用于測量閥套

大／小標定件

1臺24通道的EPIC－CAG

氣電轉(zhuǎn)換器

閥套測量原理

比較測量，采用氣動測量方法

氣動測量是把被測尺寸的變化變換為氣室中壓力的變化，通過氣電轉(zhuǎn)換器將壓力的變化成電信號，檢測出被測尺寸的變化量

氣動測量具有工作穩(wěn)定可靠、檢測精度高、速度快、使用簡單便于操作的優(yōu)點，在幾何尺寸檢測得到廣泛應(yīng)用

閥芯閥套綜合測量儀特點：
操作簡便，測量效率高
對操作人員和操作環(huán)境要求低
調(diào)高檢測精度，尤其在中小型偶件的測量
測量結(jié)果可以與圓柱儀比對，結(jié)果具有相關(guān)性
為生產(chǎn)提供數(shù)字化依據(jù)，對加工設(shè)備進行調(diào)整