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日本黑田精工KURODA硅片平整度測量系統(tǒng)

閱讀:392        發(fā)布時間:2019-8-21

簡要描述:

日本黑田精工KURODA硅片平整度測量系統(tǒng)
同步檢驗表面形狀、背面形狀和平整度!
NANOMETRO®TT系列是用于縱向旋轉(zhuǎn)、邊緣夾持式晶圓的平整度測量裝置。邊緣排除區(qū)小1mm,可進行盒至盒的高精度自動測量。評價項目依據(jù)SEMI標準。

日本黑田精工KURODA硅片平整度測量系統(tǒng)

同步檢驗表面形狀、背面形狀和平整度!

NANOMETRO®TT系列是用于縱向旋轉(zhuǎn)、邊緣夾持式晶圓的平整度測量裝置。邊緣排除區(qū)小1mm,可進行盒至盒的高精度自動測量。評價項目依據(jù)SEMI標準。

特點

  • 平整度測量例

nanometro_TT_feature_001.gif

  • 邊緣排除區(qū)1mm

nanometro_TT_feature_002.gif

  • 邊緣排除區(qū)3mm

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  • 放射狀測量數(shù)據(jù)

nanometro_TT_feature_004.gif

  • 邊緣滾降分析

nanometro_TT_feature_005.gif

  • 邊緣鳥瞰圖、截面圖

nanometro_TT_feature_006.gif

 

<Edge Roll-off分析>
根據(jù)表面和背面同步檢測得到的放射狀測量結果,提供符合客戶需求的分析軟件。

性能、規(guī)格

項目NANOMETRO®300TTNANOMETRO®200TT
量程φ300mmφ200mm
顯示分辨率1nm
測頭非接觸激光位移計
測量方式縱向旋轉(zhuǎn)方式

日本黑田精工KURODA硅片平整度測量系統(tǒng)

產(chǎn)品按照標準和生產(chǎn),產(chǎn)品可滿足用于石化、電廠等行業(yè),同時根據(jù)不同的產(chǎn)品也適用于其他行業(yè),改進和擴大提高了自己的產(chǎn)品供給,公司生產(chǎn)的測量系統(tǒng),受到了本國和國內(nèi)外客戶以及市場的青睞,*設計,壽命超長,性能穩(wěn)定,密封性強,精密鑄造,外觀精美。性質(zhì)穩(wěn)質(zhì),包裝優(yōu)良。

 伊里德代理工KURODA硅片平整度測量系統(tǒng)等產(chǎn)品,價格合理,使用范圍廣,部分常規(guī)型號有現(xiàn)貨。如需采購可咨詢。我將竭誠為您服務。請您詢問時請備注貴公司營業(yè)執(zhí)照抬頭、連系方式;您需要的品牌型號數(shù)量發(fā)給我們。我們將按順序時間給您回復報價,歡迎惠顧

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