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日本黑田精工KURODA硅片平整度測(cè)量系統(tǒng)

閱讀:387        發(fā)布時(shí)間:2019-8-21

簡(jiǎn)要描述:

日本黑田精工KURODA硅片平整度測(cè)量系統(tǒng)
同步檢驗(yàn)表面形狀、背面形狀和平整度!
NANOMETRO®TT系列是用于縱向旋轉(zhuǎn)、邊緣夾持式晶圓的平整度測(cè)量裝置。邊緣排除區(qū)小1mm,可進(jìn)行盒至盒的高精度自動(dòng)測(cè)量。評(píng)價(jià)項(xiàng)目依據(jù)SEMI標(biāo)準(zhǔn)。

日本黑田精工KURODA硅片平整度測(cè)量系統(tǒng)

同步檢驗(yàn)表面形狀、背面形狀和平整度!

NANOMETRO®TT系列是用于縱向旋轉(zhuǎn)、邊緣夾持式晶圓的平整度測(cè)量裝置。邊緣排除區(qū)小1mm,可進(jìn)行盒至盒的高精度自動(dòng)測(cè)量。評(píng)價(jià)項(xiàng)目依據(jù)SEMI標(biāo)準(zhǔn)。

特點(diǎn)

  • 平整度測(cè)量例

nanometro_TT_feature_001.gif

  • 邊緣排除區(qū)1mm

nanometro_TT_feature_002.gif

  • 邊緣排除區(qū)3mm

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  • 放射狀測(cè)量數(shù)據(jù)

nanometro_TT_feature_004.gif

  • 邊緣滾降分析

nanometro_TT_feature_005.gif

  • 邊緣鳥(niǎo)瞰圖、截面圖

nanometro_TT_feature_006.gif

 

<Edge Roll-off分析>
根據(jù)表面和背面同步檢測(cè)得到的放射狀測(cè)量結(jié)果,提供符合客戶(hù)需求的分析軟件。

性能、規(guī)格

項(xiàng)目NANOMETRO®300TTNANOMETRO®200TT
量程φ300mmφ200mm
顯示分辨率1nm
測(cè)頭非接觸激光位移計(jì)
測(cè)量方式縱向旋轉(zhuǎn)方式

日本黑田精工KURODA硅片平整度測(cè)量系統(tǒng)

產(chǎn)品按照標(biāo)準(zhǔn)和生產(chǎn),產(chǎn)品可滿(mǎn)足用于石化、電廠(chǎng)等行業(yè),同時(shí)根據(jù)不同的產(chǎn)品也適用于其他行業(yè),改進(jìn)和擴(kuò)大提高了自己的產(chǎn)品供給,公司生產(chǎn)的測(cè)量系統(tǒng),受到了本國(guó)和國(guó)內(nèi)外客戶(hù)以及市場(chǎng)的青睞,*設(shè)計(jì),壽命超長(zhǎng),性能穩(wěn)定,密封性強(qiáng),精密鑄造,外觀精美。性質(zhì)穩(wěn)質(zhì),包裝優(yōu)良。

 伊里德代理工KURODA硅片平整度測(cè)量系統(tǒng)等產(chǎn)品,價(jià)格合理,使用范圍廣,部分常規(guī)型號(hào)有現(xiàn)貨。如需采購(gòu)可咨詢(xún)。我將竭誠(chéng)為您服務(wù)。請(qǐng)您詢(xún)問(wèn)時(shí)請(qǐng)備注貴公司營(yíng)業(yè)執(zhí)照抬頭、連系方式;您需要的品牌型號(hào)數(shù)量發(fā)給我們。我們將按順序時(shí)間給您回復(fù)報(bào)價(jià),歡迎惠顧!

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