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AeroBarMP 5635 日本SIMCO靜電風(fēng)棒

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  • AeroBarMP 5635 日本SIMCO靜電風(fēng)棒
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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)
  • 品牌 Wolfgang Warmbier/德國
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 所在地 深圳市
在線詢價(jià) 收藏產(chǎn)品

更新時(shí)間:2019-04-19 19:58:08瀏覽次數(shù):782

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產(chǎn)品分類品牌分類

產(chǎn)品簡介

重量 1kg
AeroBarMP 5635 日本SIMCO靜電風(fēng)棒是一種超低顆粒兼容產(chǎn)品,專為靜電消除應(yīng)用而開發(fā),AeroBarMP 5635 日本SIMCO靜電風(fēng)棒需要管理100納米或更小的微小顆粒,例如先進(jìn)的半導(dǎo)體制造工藝。

詳細(xì)介紹

特點(diǎn)

  • 世界范圍的單晶硅電有的采用效果,避免了由于具有超低顆粒特性的電極材料而導(dǎo)致的金屬污染風(fēng)險(xiǎn)
  • 高電荷去除性能,使用*的MP(脈沖調(diào)制)方法有效地將離子傳輸?shù)侥繕?biāo)
  • 小的電位擺動(dòng)特性,即使在100 mm距離和離子平衡時(shí)也可以使用,并且在橫桿長度上的偏置較小
  • 通過智能控制電路隨時(shí)自動(dòng)控制離子發(fā)生狀態(tài)和離子平衡
  • 可拆卸的電極可以1/4轉(zhuǎn)動(dòng)移動(dòng),有助于減少維護(hù)工時(shí)
  • MP系統(tǒng)極小的電位擺動(dòng)簡化了設(shè)置,小電位擺動(dòng)有效地保持了控制標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)的長期離子平衡。
  • 根據(jù)EFEM進(jìn)行半導(dǎo)體預(yù)處理設(shè)置條的長度
  • 緊湊型設(shè)計(jì),內(nèi)置24V直流驅(qū)動(dòng)控制器
  • 范圍內(nèi)提供高級支持網(wǎng)絡(luò)

 

規(guī)范

型號(hào)5635 AeroBar MP

輸入電壓24V DC +/- 10%
輸出電壓高達(dá)約13.5kv pp可調(diào)
安裝距離100mm至1000mm(無空氣吹掃)
離子發(fā)生系統(tǒng)電暈放電方法
MP(脈沖調(diào)制)方法調(diào)制頻率1至33 Hz
離子平衡自動(dòng)平衡調(diào)整方法
<±10 V在條形差異中的位置<±10 V 
(600 mm距離)
電極單晶硅電極可更換
吹掃氣體清潔干燥空氣或N2
大吹掃壓力310 Kpa
臭氧量<0.05 ppm(24小時(shí)積分值)
信號(hào)輸出報(bào)警IO開路集電極輸出
高度78mm x深度34mm x長度在下方
450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350
mm
外觀ABS樹脂

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