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kocosWATOM晶片邊緣輪廓測量儀           kocosWATOM晶片邊緣輪廓測量儀

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晶片邊緣和缺口輪廓測量

在半導(dǎo)體工業(yè)中使用越來越小的式樣，需要越來越*的高質(zhì)量材料。為了應(yīng)對晶片質(zhì)量的穩(wěn)步提高，KoCoS自動化公司開發(fā)了WATOM，這是一種晶片邊緣和缺口輪廓測量工具，預(yù)示著極其精確的晶圓幾何測量的新時代。

WATOM支持在整個晶圓制造過程中的質(zhì)量保證，從一開始就一直持續(xù)到晶圓回收。

WATOM邊緣和Notch晶片幾何學(xué)分析儀將高質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)和一服務(wù)相結(jié)合，為半導(dǎo)體晶片制造中幾何測量的質(zhì)量保證設(shè)定了基準(zhǔn)。這些高精度的、基于激光的邊緣輪廓測量工具是專門為半導(dǎo)體行業(yè)中的生產(chǎn)線的佳集成而設(shè)計的。