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在當(dāng)今數(shù)字化時(shí)代,半導(dǎo)體芯片已成為現(xiàn)代科技產(chǎn)業(yè)的核心基礎(chǔ)。隨著芯片制程工藝不斷進(jìn)步,復(fù)雜度日益提高,芯片測試環(huán)節(jié)的重要性愈發(fā)凸顯。據(jù)統(tǒng)計(jì),測試成本已占芯片總成本的25%-30%,成為影響產(chǎn)品良率和可靠性的關(guān)鍵因素。
本文科準(zhǔn)測控小編全面介紹半導(dǎo)體芯片測試的完整流程,包括晶圓制造階段的WAT和CP測試、封裝環(huán)節(jié)的FT測試,以及成品芯片的功能測試、參數(shù)測試、可靠性測試和焊接強(qiáng)度測試,幫助讀者系統(tǒng)了解半導(dǎo)體測試領(lǐng)域的技術(shù)要點(diǎn)和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。
焊接強(qiáng)度測試作為封裝可靠性的關(guān)鍵評估手段,能夠確保芯片在后續(xù)組裝和使用過程中不會(huì)因機(jī)械應(yīng)力導(dǎo)致失效,是半導(dǎo)體測試流程中重要的一環(huán)。
一、半導(dǎo)體芯片測試概述
半導(dǎo)體芯片測試是指對芯片在制造和封裝環(huán)節(jié)進(jìn)行的,為檢查其電氣特性、功能和性能等進(jìn)行的驗(yàn)證,目的是判斷其是否符合設(shè)計(jì)要求。集成電路測試分為三部分:
芯片設(shè)計(jì)驗(yàn)證
晶圓制造環(huán)節(jié)測試
封裝環(huán)節(jié)測試
這三個(gè)部分構(gòu)成了芯片從設(shè)計(jì)到量產(chǎn)的完整測試生命周期,確保最終產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。
二、晶圓制造環(huán)節(jié)測試
1、 WAT測試(晶圓接受測試)
WAT(Wafer Acceptance Test)又稱工藝控制監(jiān)測(Process Control Monitor,PCM),是對專門的測試圖形(test key)的測試,通過電參數(shù)來監(jiān)控各步工藝是否正常和穩(wěn)定。
測試內(nèi)容:
電氣性能測量:使用WAT4082測試系統(tǒng)測量晶圓上不同測試結(jié)構(gòu)的電壓、電流等
工藝穩(wěn)定性評估:通過對wafer的不同區(qū)域進(jìn)行取樣,評估制程的均勻性和穩(wěn)定性
2、CP晶圓測試(晶圓探針測試)
a、主要設(shè)備:自動(dòng)探針臺(tái)和ATE測試機(jī)臺(tái)系統(tǒng)
在晶圓尚未切割前,通過探針卡(Probe Card)接觸芯片Pad,利用自動(dòng)探針臺(tái)和ATE測試機(jī)臺(tái)系統(tǒng)對每顆裸片(Die)進(jìn)行功能和參數(shù)篩選。
b、測試項(xiàng)目:
I/O Open/Short測試
芯片ID讀取
閾值電壓(Vt)測量
導(dǎo)通電阻(Rdson)測試
漏電流(Idss)測試
擊穿電壓(BVdss)測試
三、封裝環(huán)節(jié)測試(FT測試)
a、主要設(shè)備:ATE測試系統(tǒng)、溫箱以及Handler上下料設(shè)備
在芯片完成封裝后,通過測試座子(Test Socket)開展最終功能、電氣和可靠性測試,確認(rèn)封裝過程中無新增缺陷,并根據(jù)需要進(jìn)行Burn-in(老化)環(huán)境測試和壓力測試,確保芯片品質(zhì)達(dá)到出廠標(biāo)準(zhǔn)。
b、測試項(xiàng)目:包括功能測試、電氣特性測試以及一些特殊的耐久性測試。例如,高電流測試、待機(jī)測試、功耗測試等項(xiàng)目都需要在封裝后的FT階段進(jìn)行,因?yàn)榇藭r(shí)的芯片更接近實(shí)際應(yīng)用場景,測試設(shè)備也能承受更大的電流和電壓。
四、成品芯片測試分類
1、功能測試(Functional Test)
a、主要設(shè)備:ATE自動(dòng)測試設(shè)備 、邏輯分析儀。
b、目的:驗(yàn)證芯片邏輯功能是否符合設(shè)計(jì)規(guī)范。
c、方法:利用自動(dòng)測試設(shè)備(ATE),根據(jù)測試矢量(Test Vector)對芯片施加輸入信號,檢測輸出是否與預(yù)期一致。
d、測試內(nèi)容:
邏輯單元驗(yàn)證
接口協(xié)議測試
基本功能驗(yàn)證
2、參數(shù)測試(Parametric Test)
a、主要設(shè)備:參數(shù)測試儀(Parametric Tester)、源表(SMU)、示波器、高精度電源。
b、目的:測量電壓、電流、時(shí)序、功耗、噪聲等關(guān)鍵參數(shù),保證芯片的電氣性能達(dá)標(biāo)。
c、方法:利用探針臺(tái)+參數(shù)測試儀對各引腳進(jìn)行IV特性測試。
d、測試內(nèi)容:
靜態(tài)參數(shù)測試(使用參數(shù)分析儀)
動(dòng)態(tài)參數(shù)測試(使用測試系統(tǒng))
功耗測試
噪聲測試
3、可靠性測試(Reliability Test)
a、主要設(shè)備:環(huán)境測試箱(溫濕度箱)、老化測試系統(tǒng)、ESD測試儀。
b、目的:評估芯片在不同環(huán)境(溫度、濕度、振動(dòng)等)下的穩(wěn)定性和壽命,驗(yàn)證長期工作能力。
c、測試項(xiàng)目:
Pre-condition測試(使用環(huán)境試驗(yàn)箱)
高溫高濕試驗(yàn)(HAST)
高溫工作壽命測試(HTOL)
溫度循環(huán)測試(TCT)
靜電放電測試(ESD)
4、焊接強(qiáng)度測試
a、主要設(shè)備:Alpha W260推拉力測試機(jī)
b、目的:評估芯片引腳或焊點(diǎn)的機(jī)械強(qiáng)度和可靠性,確保在后續(xù)組裝和使用過程中不會(huì)因機(jī)械應(yīng)力導(dǎo)致失效。
c、測試標(biāo)準(zhǔn):
IPC/JEDEC J-STD-002(焊線拉力測試)
IPC/JEDEC J-STD-020(元件焊接可靠性)
MIL-STD-883(微電子器件測試方法)
d、測試原理:
推拉力測試機(jī)通過精密的力傳感器和位移控制系統(tǒng),對焊點(diǎn)或焊線施加精確控制的拉力或推力,測量其斷裂前的最大承受力。測試過程可以實(shí)時(shí)監(jiān)測力-位移曲線,分析焊點(diǎn)的機(jī)械性能。
e、測試流程:
樣品準(zhǔn)備:將待測芯片固定在測試平臺(tái)上(使用Alpha W260推拉力測試機(jī))
探針定位:使用顯微鏡精確定位測試位置
測試參數(shù)設(shè)置:根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置測試速度、最大位移等參數(shù)
執(zhí)行測試:自動(dòng)施加拉力/推力直至焊點(diǎn)斷裂
數(shù)據(jù)分析:記錄最大斷裂力,分析斷裂模式
結(jié)果判定:與標(biāo)準(zhǔn)要求對比,判斷是否合格
f、關(guān)鍵指標(biāo):
最大斷裂力(單位:gf或N)
斷裂位置(焊線、焊球或界面)
斷裂模式(脆性斷裂或韌性斷裂)
以上就是小編介紹的有關(guān)于半導(dǎo)體芯片各類測試相關(guān)內(nèi)容了,希望可以給大家?guī)韼椭?!如果您還想了解更多BGA封裝料件焊點(diǎn)的可靠性測試方法、視頻和操作步驟,推拉力測試機(jī)怎么使用視頻和圖解,使用步驟及注意事項(xiàng)、作業(yè)指導(dǎo)書,原理、怎么校準(zhǔn)和使用方法視頻,推拉力測試儀操作規(guī)范、使用方法和測試視頻 ,焊接強(qiáng)度測試儀使用方法和鍵合拉力測試儀等問題,歡迎您關(guān)注我們,也可以給我們私信和留言,【科準(zhǔn)測控】小編將持續(xù)為大家分享推拉力測試機(jī)在鋰電池電阻、晶圓、硅晶片、IC半導(dǎo)體、BGA元件焊點(diǎn)、ALMP封裝、微電子封裝、LED封裝、TO封裝等領(lǐng)域應(yīng)用中可能遇到的問題及解決方案。
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