国产精品视频一区二区三区四,亚洲av美洲av综合av,99国内精品久久久久久久,欧美电影一区二区三区电影

廣州善準(zhǔn)科技有限公司
中級會員 | 第4年

15800002727

等離子體處理儀是如何進行工作的?

時間:2023/2/17閱讀:499
分享:
  等離子體(plasma)又叫作電漿,是由部分電子被剝奪后的原子及原子團被電離后產(chǎn)生的正負(fù)離子組成的離子化氣體狀物質(zhì)。等離子體處理儀的作用和效果包括:物理刻蝕、化學(xué)改性、主體材料表面聚合、等離子體聚合。
  等離子體處理儀的工作原理如下:
  在真空環(huán)境中提供電場,在電場的作用下,帶正電的電荷和電子等相互碰撞電離進行輝光放電形成等離子體。電離產(chǎn)生的活性基團攜帶巨大的動能,可以破壞材料表面的化學(xué)鍵及分子間作用力,與斷鍵的離子或獨立的分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。
  等離子體與材料表面發(fā)生的的物理過程和化學(xué)反應(yīng)與等離子體類型、參與反應(yīng)的粒子、等離子體狀態(tài)參數(shù)、基底材料表面的狀態(tài)都有關(guān)系,十分復(fù)雜。等離子體表面處理是通過足夠大的能量對氣相物質(zhì)進行電離,使其成為電子、離子、中性基團、分子等等離子體的狀態(tài),并利用這些活化基團處理材料表面的過程。等離子體與材料表面作用的過程如下所示:
  (1)解吸:當(dāng)?shù)入x子體與基底表面接觸時,將能量傳遞給吸附在基地表面的污染原子或分子,使污染物間的分子間作用力或者化學(xué)鍵解離,通過控制惰性氣體解吸這些污染小分子團,離開反應(yīng)室。整個過程的能量轉(zhuǎn)移過程是通過離子、電子、光子以及中性粒子作為載體的。
 ?。?)復(fù)合:等離子體解離將電子加速轟擊器壁表面,因此反應(yīng)室器壁帶負(fù)電,這就致使部分帶正電荷的等離子體由于電荷作用向帶負(fù)電的器壁表面遷移。
 ?。?)激發(fā):攜帶能量的入射電子與基底表面的電子發(fā)生彈性碰撞,電子將被激發(fā)到更高的能級或擊穿產(chǎn)生電離。電子還可激發(fā)基底固態(tài)材料中電子產(chǎn)生振蕩。
 ?。?)濺射:電離后的等離子體與基地表面發(fā)生化學(xué)物理作用時存在能量和動量轉(zhuǎn)換的過程。入射粒子的動能將能量傳遞給基底表面的原子,使原子獲得足夠大的動能,當(dāng)這個動能超過束縛能時即被濺射出來。
 ?。?)注入:攜帶一定能量的等離子體轟擊基底固體表面,將固體表面原子或電子結(jié)合情況破壞,從而與基底內(nèi)原子結(jié)合,這種引起基底院子結(jié)構(gòu)變化的過程稱為注入。即對基底表面的分子摩爾量增加。
  (6)刻蝕:等離子體與基底表面分離的原子或分子結(jié)合生成的產(chǎn)物具有揮發(fā)性,這些復(fù)合產(chǎn)物將通過惰性氣體的攜帶從反應(yīng)室揮發(fā),這個過程稱為刻蝕.等離子體處理的特點是:使用數(shù)控技術(shù)自動化操作,對于氣體通量,真空度以及反應(yīng)時間的控制很精確。另外等離子體操作不會對基底表面產(chǎn)生二次污染,其復(fù)合產(chǎn)物被惰性氣體攜帶排出也具有環(huán)境友好性。
  等離子體表面處理技術(shù)的特點是對基體沒有選擇性,可囊括金屬材料、絕緣體材料、甚至高分子有機物等,并可利用等離子體的各向異性實現(xiàn)對整體和局部結(jié)構(gòu)的清洗。

會員登錄

×

請輸入賬號

請輸入密碼

=

請輸驗證碼

收藏該商鋪

X
該信息已收藏!
標(biāo)簽:
保存成功

(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)

常用:

提示

X
您的留言已提交成功!我們將在第一時間回復(fù)您~
撥打電話
在線留言
陈巴尔虎旗| 云梦县| 子长县| 卫辉市| 大渡口区| 深泽县| 时尚| 交口县| 河西区| 深圳市| 黄山市| 凤冈县| 太康县| 临泽县| 新邵县| 岐山县| 昌图县| 周至县| 吴桥县| 清水河县| 九龙县| 华池县| 四子王旗| 金溪县| 安陆市| 耒阳市| 潮州市| 龙里县| 咸宁市| 上虞市| 商水县| 柳河县| 马边| 深泽县| 安宁市| 安徽省| 和静县| 丘北县| 房山区| 治县。| 白河县|