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HS1500G顯微鏡高溫熱臺專為顯微鏡/光譜儀上的超高溫應用設計,可用于陶瓷、冶金、地質、高溫材料等領域??杉友b樣品接電引線,可定制樣品區(qū)。此款高溫熱臺可在30℃~1500℃范圍內控溫,同時允許光學觀察和樣品氣體環(huán)境控制。熱臺窗蓋與臺體構成一個氣密腔,且樣品區(qū)偏離視窗中心,這樣即可以充入氮氣等保護氣體,來防止樣品高溫下反應,又可以通過旋轉窗片來移開窗片上的揮發(fā)物。
顯微鏡高溫熱臺功能特點:
適用于顯微鏡/光譜儀的超高溫應用
30℃~1500℃可編程控溫
Φ7.5 mm加熱區(qū)
樣品區(qū)-視窗偏心設計,可旋轉窗片移開高溫揮發(fā)物
可充入保護氣體的氣密腔
可從溫控器或電腦軟件控制,可提供軟件SDK
增高蓋
適用于紅外設備的超高溫應用
增加加熱區(qū)與紅外玻璃距離,防止損壞
溫控參數
溫度范圍 30℃~1500℃
加熱塊材質耐高溫陶瓷
傳感器/溫控方式S型熱電偶/PID控制
最大加熱+100℃/min(<800℃時);+20℃>800℃時)
最小加熱±0.5℃/min
溫度分辨率0.1℃
溫度穩(wěn)定性±1℃
軟件功能 可設溫控速率,可設溫控程序,可記錄溫控曲線
光學參數
適用光路 透射光路和反射光路
窗片可拆卸與更替的窗片
最小物鏡工作距離6.3 mm(標準)11.7 mm(增高蓋)*截面圖中WD
最小聚光鏡工作距離13.3 mm*截面圖中CWD
透光孔Φ2 mm*截面圖中ΦVA
上蓋窗片觀察窗片范圍Φ50mm,最大視角±45°(標準)
窗片范圍Φ16mm,最大視角±34°(增高蓋)*截面圖中θ1
底部窗片觀察窗片范圍Φ16mm,最大視角±19°*截面圖中θ2
高溫下顯微鏡降溫 吹氣降溫
結構參數
加熱區(qū)/樣品區(qū) Φ7.5 mm
樣品腔高3.5 mm
*樣品最大厚度=樣品腔高–樣品襯底厚度
樣品襯底默認為石英坩堝(Φ6 mmx1 mm)
上蓋可調壓力的窗蓋,兼顧氣密型與窗片旋轉
氣氛控制氣密腔,可充入保護氣體
外殼冷卻通循環(huán)水,以維持外殼溫度在常溫附近
安裝方式水平安裝或垂直安裝
臺體尺寸/重量 141 mm x 62 mm x 25.3 mm/1350g
配置列表
基本配置 HS1500G高溫熱臺、mK2000B溫控器、外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)
可選配件 冷熱臺安裝支架、真空系統(tǒng)(僅用于真空型號)、樣品接電引線
適用范圍
用于搭配Instec冷熱臺、Instec溫控探針臺、Instec溫控晶圓夾盤、Instec冷熱平板、Instec定制溫控裝置使用。
溫控配件系列
安裝支架:用于將溫控裝置固定在用戶設備上
mK2000B溫控器,含InstecAPP溫控軟件,溫控裝置必選
外殼循環(huán)水冷系統(tǒng),帕爾貼式溫控裝置必選
MITO系列溫控聯用顯微鏡相機,含控制軟件
LWDC2長工作距離聚光鏡
真空系統(tǒng):包括真空泵+真空管路,用于真空型溫控裝置
外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)
用于溫控裝置的外殼/底座的冷卻。溫控裝置加熱/制冷時,外殼/底座溫度會被帶得很燙/很涼,危害周遭人員設備甚至設備自身。用循環(huán)水讓外殼溫度保持在常溫附近,能有效預防此災害。
mK2000B溫控器
支持恒溫、恒速率變溫、暫停、編程溫控功能。具有冷熱獨立的多段PID控制、可保存4套20段校準表等特點??瑟毩⒖刂?,也可從InstecAPP軟件控制。
溫度分辨率 ±0.001℃(熱敏電阻),±0.01℃(RTD),±0.1℃(熱電偶)
控制接口USB虛擬串口可選其他接口
可選項LVDC線性可調直流電源,用于降低電噪音
溫控軟件 InstecAPP,可提供多語言SDK
安裝支架
針對用戶設備定制,可讓熱臺水平固定/垂直固定等,垂直光路/水平光路等的用戶設備皆可適用。通常有:
圓環(huán)式(用于圓形載物臺),平板式(用于方形載物臺)、
載物臺式(用于代替設備載物臺)、立式(用于水平光路)。