日本SMC氟樹脂氣管高純化學試劑
日本SMC氟樹脂氣管高純化學試劑
日本SMC氟樹脂氣管由含氟原子的單體通過均聚或共聚反應而成，目前使用中的氟樹脂品種主要有聚四氟乙烯（PTFE）、聚三氟氯乙烯（PCTFE）、聚偏氟乙烯（PVDF）、聚氟乙烯（PVF）、四氟乙烯－六氟丙烯共聚物（FEP）、乙烯－三氟氯乙烯共聚物（ECTFE）、乙烯－四氟乙烯共聚物（ETFE）和四氟乙烯－全氟烷基乙烯基醚共聚物（PFA）。在濕電子化學品生產(chǎn)領域應用的氟樹脂主要為PTFE和PFA。
PTFE樹脂占所有氟塑材料應用的70%左右，由于其的分子結構，使材料具有優(yōu)異的耐腐蝕性，耐酸抗堿、抗大部分溶劑的特點。同時，PTFE具有耐低溫和相對高溫的特點，工作溫度范圍可達到-80℃~200℃。
PFA為四氟乙烯和全氟丙基乙烯基醚（FVE）的共聚物，分子結構與PTFE十分接近，很多性能也非常接近。最大的不同是，PFA可以熔融加工、注塑、擠出等，所以PFA又稱為可熔性PTFE。
日本SMC氟樹脂氣管在與高純化學試劑接觸時，幾乎沒有不純物質的溶出，且耐腐蝕性優(yōu)異，具備長期使用也能保持純度的優(yōu)異特性。在應用于超凈高純化學試劑的氟樹脂中，尤其以PTFE與PFA最為廣泛，其耐腐蝕性更加優(yōu)異，耐蝕高純化學試劑的品種更加廣泛。
對于日本SMC氟樹脂氣管（PTFE和PFA）的指標要求主要包括樹脂使用和制造的技術要求。
1.樹脂使用技術要求
①金屬離子的析出：SEMI3及以上的超凈高純化學品中，其產(chǎn)品在包裝儲運和使用過程中，單項金屬離子要求保持在ppb甚至ppt級的水平。因此，對預期接觸的所有材料必須也保持相應技術水平，保證無過量金屬離子析出。
②顆粒數(shù)持續(xù)增長：若樹脂材料的在分子水平上出現(xiàn)過量的分子斷裂或者溶出，會導致在電路濕制程當中引起大量產(chǎn)品污染和線路缺陷。
③小分子滲透：超凈高純化學試劑分子量一般相對較小，滲透性強。而樹脂在生產(chǎn)中容易出現(xiàn)大分子間隙，導致分子溢出，可能會對儲運設施外層金屬產(chǎn)生微量腐蝕，而微量的腐蝕污染足以導致產(chǎn)品失效。
日本SMC氟樹脂氣管技術要求：
①材質的純凈度，保證不對產(chǎn)品造成二次污染；
②樹脂聚合中分子量分布盡可能的窄；
③聚合過程中支鏈的控制技術；
④功能添加劑的選擇穩(wěn)定性和溢出控制。
