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詳細摘要： 日本特許機器tokkyokiki臺式隔振臺EHS/DHS/DAS/SRD/SVD包括半導體行業(yè)在內(nèi)的超精密加工領域的制造、檢測和測量，正在將精密度深化到納米和埃...

詳細摘要： 日本特許機器tokkyokiki臺式主動隔振臺TA一種不需要空氣的小型主動隔振器。從低頻到高頻都具有優(yōu)良的隔振性能。

詳細摘要： 日本plexmotion無刷電機和驅(qū)動器套件CBA-30系列套件中包含30W DC無刷電機和小型多功能電機驅(qū)動器。支持90至3,000 r / min的廣泛速度...

詳細摘要： 日本plexmotion內(nèi)置控制器的步進電機SSA-TR類型電機中集成了可存儲多達8種操作模式的控制器功能和微步驅(qū)動器。由于控制器是集成的，因此可以z大限度地減...

詳細摘要： 日本昭和SSC主動隔振裝置VAAV-S直線電機由于它是由線性電動機控制的，因此消耗的空氣更少。（相當于被動隔振表）特別針對對振動敏感的精密測量設備的振動隔離措施...

詳細摘要： 日本昭和SSC主動隔振裝置VAAV-L高性能型振動傳遞特性無共振。由于它配備了VAAV系列中柔軟的空氣彈簧，因此可以實現(xiàn)該系列中z佳的隔振性能。

詳細摘要： 日本昭和SSC主動隔振裝置VAAV-H超薄型我們在地板側(cè)慷慨地部署了超靈敏的加速度傳感器，并通過前饋控制實現(xiàn)了世界z高水平的隔振性能。在保持高性能且高精度的隔振...

詳細摘要： 日本昭和SSC主動隔振裝置VAAV-A標準型配備了于VAAV的超靈敏加速度傳感器。準確掌握微小的振動。高速計算由我們獨chuang的主動隔振算法執(zhí)行，而振動立即...

詳細摘要： 日本昭和SSC超精密加工機用隔震臺AT規(guī)格?固有振動數(shù)：約3.0Hz?高減衰：共振倍率約3倍