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薄膜介電常數(shù)測(cè)試儀的測(cè)試順序
先要詳細(xì)了解配用Q表的使用方法，操作時(shí)，要避免人體感應(yīng)的影響。
- 把配用的Q表主調(diào)諧電容置于小電容量，微調(diào)電容置于－3pF。
- 把本測(cè)試裝置插到Q 表測(cè)試回路的“電容”兩個(gè)端子上。
- 配上和測(cè)試頻率相適應(yīng)的高Q值電感線圈
- 調(diào)節(jié)平板電容器測(cè)微桿，使二極片相接為止，讀取刻度值記為DO。
- 再松開(kāi)二極片，把被測(cè)樣品插入二極片之間，調(diào)節(jié)平板電容器，到二極片夾住樣品止（注意調(diào)節(jié)時(shí)要用測(cè)微桿，以免夾得過(guò)緊或過(guò)松），這時(shí)能讀取新的刻度值，記為D1，這時(shí)樣品厚度D2= D1－D0。
- 把園筒電容器置于5mm處。
- 改變配合Q表頻率，使之諧振，讀得Q值。
- 先順時(shí)針?lè)较?，后逆時(shí)針?lè)较颍{(diào)節(jié)園筒電容器，讀取當(dāng)Q表指示Q值為原值的一半時(shí)測(cè)微桿上二個(gè)刻度值，取這二個(gè)值之差，記為M1。
- 再調(diào)節(jié)園筒電容器，使Q表再次諧振。
- 取出平板電容器中的樣品，這時(shí)Q表又失諧，調(diào)節(jié)平
板電容器，使再諧振，讀取測(cè)微桿上的讀值D3，其變化值為
D4= D3－D0。
- 和h款操作一樣，得到新的二個(gè)值之差，記為M2。
3. 計(jì)算測(cè)試結(jié)果
被測(cè)樣品的介電常數(shù)：
Σ＝D2 / D4
被測(cè)樣品的損耗角正切值：
tgδ＝K（M1－M2 ）/ 15.5
式中：K為園筒電容器線性變化率，一般為0.33 / mm，每個(gè)測(cè)試夾具在盒蓋內(nèi)標(biāo)有具體數(shù)值。
一般按以上公式計(jì)算的結(jié)果，其精度和重復(fù)性是能滿足的，但對(duì)介電常數(shù)大的被測(cè)樣品（即樣品從平板樣品放入和取出，平板電容器刻度值變化較大），邊緣效應(yīng)電容對(duì)測(cè)試會(huì)有較顯著的影響，這時(shí)可按下列公式計(jì)算：
Σ＝（C2 + CF2－CF）/ C1
tgδ＝K（M1－M2 ）/ 3.46（C2 + CF2－CF）/ C1
使用方法
使用本測(cè)試裝置和Q表配用，對(duì)絕緣材料以及其他高阻性能的薄材，列如：紙張、木材、粉壓片料等，進(jìn)行相對(duì)測(cè)量，其測(cè)試方法就非常簡(jiǎn)便、實(shí)用，采取被測(cè)樣品和標(biāo)準(zhǔn)樣品相比較方法，就能靈敏地區(qū)別二者之間的輕微差別，例如含水量、配用原料變動(dòng)等等。
測(cè)試時(shí)先把標(biāo)準(zhǔn)樣品放入平板電容器，調(diào)節(jié)Q表頻率，諧振后讀得Q值，再換上被測(cè)樣品，調(diào)節(jié)園筒電位器，再諧振，看Q值變化，如Q值變化很小，說(shuō)明標(biāo)準(zhǔn)樣品和被測(cè)樣品高頻損耗值一致，反之說(shuō)明二者性能有區(qū)別，如園筒電容器調(diào)節(jié)不能再諧振，通過(guò)調(diào)節(jié)Q表頻率才能諧振，且頻率變化較大，說(shuō)明被測(cè)樣品和標(biāo)準(zhǔn)樣品的配用原材料相差較大。
本測(cè)試裝置是由精密機(jī)械構(gòu)件組成的測(cè)微設(shè)備，所以在使用和
保存時(shí)要避免振動(dòng)和碰撞，要求在不含腐蝕氣體和干燥的環(huán)境中使用和保存，用戶不能自行拆裝，否則其工作性能就不能保證，如測(cè)試夾具受到碰撞，或者作為定期檢查，要檢測(cè)以下幾個(gè)指標(biāo)：
- 平板電容器二極片平行度不超過(guò)0.02mm。
- 園筒電容器的軸和軸同心度誤差不超過(guò)0.1mm。
- 保證二個(gè)測(cè)微桿0.01mm分辨率。
用精密電容測(cè)量?jī)x（±0.01pF分辨率）測(cè)量園筒電容器，電容呈線性率，從0~20mm，每隔1mm測(cè)試一點(diǎn)，要求符合工作特性要求。
- 平板電容器
極片尺寸：φ25.4mm
極片間距可調(diào)范圍和分辨率：≥10mm，±0.01mm
- 園筒電容器
電容量線性：0.33pF / mm±0.05 pF
長(zhǎng)度可調(diào)范圍和分辨率：≥0～20mm，±0.01mm
3. 夾具插頭間距：25mm±1mm
4. 夾角損耗角正切值：≤4×10－4（1MHz時(shí)）