敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺

增量測量法的磁柵由周期性柵線組成。通 過計算自某點開始的增量數(shù)（測量步距 數(shù)）獲得位置信息。由于必須用參考 點確定位置值，因此測量基準的光柵尺上 還有一個參考點刻軌。在光柵尺上，由參 考點確定的位置是在一個信號周期分 配的。因此，必須通過掃描參考點建立絕 對基準點或確定上次選擇的原點。

在不理想的情況下，可能需要運動機床 測量范圍的相當大部分。為加快和簡化 “參考點回零”操作，許多海德漢尺帶距 離編碼參考點，這些參考點之間彼此相距 數(shù)學算法確定的距離。因此只需運動數(shù)毫 米，一旦移過兩個相鄰參考點后，后續(xù)電 子電路就能找到參考點位置（見下 表）。距離編碼參考點的光柵尺在型號后 均帶字母“C”（例如LIF 181C）。

 敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺

光電掃描

海德漢的大多數(shù)光柵尺采用光電掃描原 理。光電掃描在工作中無接觸，因此無磨 損。光電掃描可以檢測到非常細小的光 柵，柵線寬度可僅數(shù)微米，并能輸出非常 細小的信號周期信號。

測量基準的柵距越小，光電掃描的衍射現(xiàn) 象越嚴重。海德漢直線光柵尺采用兩種掃 描原理：

• 成像掃描原理用于10 µm至200 µm的柵 距。

• 干涉掃描原理用于柵距4 µm甚至更小柵 距的光柵。

成像掃描原理

簡單地說成像掃描原理是用透射光生成信 號：兩個柵距相同或相近的光柵與掃描掩 膜彼此相對運動。掃描掩膜的基體為透明 色，而作為測量基準的光柵材料可為透明 材料也可以為反光材料。

當平行光穿過光柵時，以特定的間隔形成 明暗的光影區(qū)。在該處設有柵距相同或相 近的掃描光柵。當兩個光柵相對運動時， 入射光被調制：在狹縫對齊時，光線通 過。如果一個光柵的刻線與另一個光柵的 狹縫對齊，光線無法通過。光電池將這些 光強變化轉化成電信號。

特殊結構的掃描 掩膜將光強調制為近正弦輸出信號。光柵 條紋的柵距越小，掃描掩膜與光柵尺間的 間距越小，公差越嚴。對于成像掃描原理 的光柵尺，10 μm或更大柵距的光柵尺可 滿足實用的安裝公差要求。

 LIF 471，LIF 481 安裝簡單的增量式直線光柵尺

• 測量步距達2 nm

• 自帶回零軌和限位開關檢測位置

• 易于安裝，粘結固定

• 直線光柵尺和讀數(shù)頭配套使用

• 可提供高真空度版（參見產(chǎn)品信息文檔）