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激光焦點(diǎn)輪廓儀（LFP）：LFP 以 40 納米的分辨率測量衍射極限焦點(diǎn)處的強(qiáng)度分布。世界上極少能揭示任何激光設(shè)備的性能和像差的納米級光束輪廓儀。
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