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北京儀光科技有限公司

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專為速度而設(shè)計的新型 S neox 3D 光學(xué)輪廓儀

閱讀:562      發(fā)布時間:2024-5-17
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專為速度而設(shè)計的新型 S neox 3D 光學(xué)輪廓儀

Sensofar Metrology 自豪地宣布推出其第 5 代旗艦光學(xué)輪廓儀。S neox 是一款高性能非接觸式 3D 光學(xué)輪廓顯微鏡系統(tǒng),專為亞納米、納米和微尺度測量而設(shè)計,具有先進的檢測和分析功能。

新型S nex在設(shè)計、功能、效率和性能方面優(yōu)于現(xiàn)有的光學(xué)3D輪廓顯微鏡。最重要的是,最令人印象深刻的功能是速度。有了新的智能和特別的算法,一切都變得更快。數(shù)據(jù)采集以 180 fps 的速度進行。標準測量采集速度比以前快 5 倍,使 S neox 成為市場上最快的面測量系統(tǒng)。

S neox 的設(shè)計在研發(fā)和 QC 實驗室所需的靈活性、穩(wěn)定性和耐用性方面得到了改進。我們優(yōu)化的解決方案由于其靈活性和易于使用的界面,能夠在 QC 環(huán)境中工作,并且可以編程為 24/7 全天候工作。Sensofar 的 S neox 傳感器頭采用的 3 合 1 技術(shù)方法——共聚焦、干涉測量、Ai 焦點變化(新)——對系統(tǒng)的多功能性做出了至關(guān)重要的貢獻,并有助于最大限度地減少數(shù)據(jù)采集中的不良影響。S neox 是所有實驗室環(huán)境的理想選擇,沒有任何限制。

最重要的功能是:

新的主 動 照 明 焦 點 變 化是一種光學(xué)技術(shù),專為測量大型粗糙表面的形狀而開發(fā)。它通過使用主動照明進行了改進,即使在光學(xué)光滑的表面上也能獲得更可靠的對焦位置。

新的 薄 膜 測量技術(shù),使用戶能夠快速、準確、無損地測量光學(xué)透明層的厚度,而無需樣品制備。50 nm 至 1.5 μm 的透明薄膜可在不到 1 秒的時間內(nèi)完成測量。

 添加了微分干涉對比度 (DIC) 以強調(diào)在常規(guī)觀察中沒有對比度的非常小的高度特征。

 高動態(tài)范圍 (HDR) 可減輕高反射表面(局部斜坡和/或不同材料)上的反射和壓差點。

S neox 配備了四個長壽命 LED 光源和一個 6 位電動物鏡轉(zhuǎn)換器。傳感器頭中沒有活動部件,因此具有長期穩(wěn)定性、精確的測量可重復(fù)性和非常長的使用壽命。與以前的 S neox 一樣,帶有五軸高精度電動旋轉(zhuǎn)模塊的 r操作臺可以連接到系統(tǒng)上。

S neox 配備 SensoSCAN 7,它以清晰、直觀和用戶友好的界面驅(qū)動系統(tǒng),并與新軟件 SensoVIEW 相結(jié)合,可完成廣泛的分析任務(wù)。常用的表面紋理參數(shù)是根據(jù) ISO 25178 和 ISO 4278 計算的。

創(chuàng)建了自動分析模塊,使所有 QC 程序都更容易使用 SensoPRO。為了進行更強大、更靈活的數(shù)據(jù)分析,可以使用基于Mountains®技術(shù)的先進的表面分析軟件SensoMAP。


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