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Nanoscope Systems lnc
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激光共聚焦顯微鏡在ITO 薄膜檢測領域的應用

時間:2022/10/31閱讀:1151
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可見光透過率高而又有導電性的薄膜稱為透明導電薄膜,透明導電薄膜的種類主要有金屬膜、氧化物膜。多層復合膜和高分子膜等,其中氧化物薄膜占主導地位。透明導電氧化物(TCO)薄膜主要包括In,Sn,Zn,Cd的氧化物及其復合多元氧化物薄膜。1907Badeker首先制備并報道了Cdo透明導電薄膜,將物質的透明性和導電性這一矛盾統(tǒng)一起來。在隨后的幾十年中。人們發(fā)現(xiàn)和研究了多種材料的TCO薄膜,并不斷擴大它們的用途。目前研究人員主要集中在對SnO2基、In2O3基以及ZnO 基透明導電薄膜的研究,而摻錫In2O3(簡稱ITO (Indium Tin Oxides氧化銦錫)薄膜又是當前研究和應用廣泛的透明導電薄膜。

ITO.jpg

(圖:常見的ITO薄膜結構圖)

作為納米銦錫金屬氧化物,ITO薄膜具有很好的導電性、透明性和光電效應,對可見光的透過率達95%以上,對紅外光的反射率達到70%,對紫光的吸收率大于等于85%以及具有導電性、加工性、高硬度、耐腐蝕性,因而在汽車擋風玻璃、飛機舷窗、坦克激光測距儀、機載光學偵察儀、隱形飛機、高級玻璃幕墻、顯示屏幕、太陽能電池板、防護眼鏡等方面有著廣泛的應用。

透光率和電阻率是ITO薄膜兩個重要的性能指標。

透光率是指ITO薄膜在可見光波段的總透過率,主要取決于膜層對光的反射率,薄膜的厚度會對光在其中的透過率產(chǎn)生影響,當厚度變大時透過率會減小。

激光共聚焦顯微鏡可以減少焦點以外反射信號的影響,輕松檢測ITO薄膜的厚度以及樣品表面,同時也可對粗糙度、線寬、線距、斷線、劃痕、異物等尺寸及外觀缺陷進行快速有效的檢測。

使用激光共聚焦顯微鏡(NS3500, Nanoscope Systems, 韓國)測量ITO薄膜表面輪廓。

ITO Surface

ITO File Surface.jpg










ITO Pattern

ITO pattern.jpg

結論

3D激光共聚焦顯微鏡,可以有效對ITO薄膜表面形貌表征、薄膜缺陷分析、納米尺度壓痕3D重建、基于劃痕測試和殘余應力分析數(shù)據(jù)的薄膜失效模式研究和薄膜與基板粘附力量話,以及磨損測試產(chǎn)生的粗糙度分析,使用Nanoscope Systems 的激光共聚焦顯微鏡正常情況下可獲得測試結果。



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