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EM科特臺式掃描電鏡用于硅太陽能電池的微納結(jié)構(gòu)觀測

閱讀:991        發(fā)布時間:2021-9-3

綜述:

太陽能電池又稱為“太陽能芯片"或“光電池",是一種利用太陽光直接發(fā)電的光電半導(dǎo)體薄片。它只要被滿足一定照度條件的光照到,瞬間就可輸出電壓及在有回路的情況下產(chǎn)生電流。在物理學(xué)上稱為太陽能光伏。太陽能芯片的表面微觀形貌、原料和工藝對電池電性能影響很大,需要掃描電鏡進(jìn)行觀測,從而控制電池質(zhì)量。

 

儀器介紹:  

EM科特掃描電鏡,根據(jù)樣品倉大小或拓展分析附件能力,分為 CUBE系列掃描電鏡、GENESIS系列掃描電鏡、VERITAS系列掃描電鏡。

 

試驗方法:

取不同工藝進(jìn)程的電池芯片直接放入掃描電鏡中觀察??焖儆^察模式,照相時間 10s

 

結(jié)論:

EM科特掃描電鏡,可滿足硅太陽能電池制造工藝控制檢測需要。采用CUBE臺式掃描電鏡或GENESIS系列掃描電鏡,需要切割芯片。使用VERITAS 系列掃描電鏡可觀察整塊芯片,無損檢測。

 

1、晶圓制絨結(jié)構(gòu)掃描電鏡圖像

圖片1_副本.png


2、晶圓表面Saw damage etching

圖片3.png

圖片4.png

3、鋁漿電極掃描電鏡圖像

   

   


4、銀漿電極掃描電鏡圖像

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