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微量氧檢測儀常見的問題

閱讀:116      發(fā)布時間:2025-6-3
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微量氧檢測儀在工業(yè)生產(chǎn)、實驗室、半導體制造等領域應用廣泛,但其使用過程中常遇到一些問題。

一、常見問題及解決方案

  1. 傳感器壽命短

    • 原因

    • 暴露于高濃度氧或腐蝕性氣體;高溫、高濕環(huán)境;頻繁校準不當。

    • 解決

      • 避免傳感器接觸>1000ppm的氧濃度;在干燥、常溫環(huán)境下使用;定期校準(建議每3-6個月一次)。

  2. 讀數(shù)不穩(wěn)定或漂移

    • 原因

    • 氣路污染(油脂、水分、顆粒物);傳感器老化;電磁干擾。

    • 解決:

      • 清潔氣路;更換傳感器;遠離變頻器、電機等干擾源。

      1. 響應速度慢

        • 原因

        • 氣路堵塞或泄漏;傳感器性能下降。

        • 解決

        • 檢查氣密性,確保流量穩(wěn)定、更換傳感器。


        • 二、方案

        • 傳感器維護

          • 電化學傳感器:定期檢查電解液是否干涸,儲存時密封避光;

          • 氧化鋯傳感器:避免硫化物、鹵素氣體污染,高溫環(huán)境下需定期活化。

        • 環(huán)境控制

          • 檢測環(huán)境濕度需<60%RH(可加裝干燥管);

          • 采樣氣體需過濾顆粒物(0.1μm過濾器)。


          • 三、量程選擇建議

          • 常規(guī)量程參考

            應用場景推薦量程傳感器類型
            高純氣體(如氮氣、氬氣)0-10ppm電化學/激光光譜
            半導體工藝腔體0-100ppb氧化鋯/光學傳感器
            工業(yè)過程控制(如焊接)0-1000ppm電化學
            環(huán)境空氣監(jiān)測0-25% vol順磁/電化學
            • 精度需求:低濃度(ppb級)優(yōu)選激光或氧化鋯傳感器;

            • 響應速度:電化學傳感器響應較慢(秒級),光學傳感器更快(毫秒級);


            • 四、其他注意事項

            • 交叉干擾:如電化學傳感器可能受H?、CO?影響,需選擇抗干擾型號;

            • 防爆要求:石化等場景需選防爆型(ATEX認證);

            • 通過合理選型、規(guī)范維護和定期校準,可顯著提高微量氧檢測儀的可靠性和使用壽命。

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