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微量氧檢測(cè)儀常見(jiàn)的問(wèn)題

閱讀:112      發(fā)布時(shí)間:2025-6-3
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微量氧檢測(cè)儀在工業(yè)生產(chǎn)、實(shí)驗(yàn)室、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,但其使用過(guò)程中常遇到一些問(wèn)題。

一、常見(jiàn)問(wèn)題及解決方案

  1. 傳感器壽命短

    • 原因

    • 暴露于高濃度氧或腐蝕性氣體;高溫、高濕環(huán)境;頻繁校準(zhǔn)不當(dāng)。

    • 解決

      • 避免傳感器接觸>1000ppm的氧濃度;在干燥、常溫環(huán)境下使用;定期校準(zhǔn)(建議每3-6個(gè)月一次)。

  2. 讀數(shù)不穩(wěn)定或漂移

    • 原因

    • 氣路污染(油脂、水分、顆粒物);傳感器老化;電磁干擾。

    • 解決:

      • 清潔氣路;更換傳感器;遠(yuǎn)離變頻器、電機(jī)等干擾源。

      1. 響應(yīng)速度慢

        • 原因

        • 氣路堵塞或泄漏;傳感器性能下降。

        • 解決

        • 檢查氣密性,確保流量穩(wěn)定、更換傳感器。


        • 二、方案

        • 傳感器維護(hù)

          • 電化學(xué)傳感器:定期檢查電解液是否干涸,儲(chǔ)存時(shí)密封避光;

          • 氧化鋯傳感器:避免硫化物、鹵素氣體污染,高溫環(huán)境下需定期活化。

        • 環(huán)境控制

          • 檢測(cè)環(huán)境濕度需<60%RH(可加裝干燥管);

          • 采樣氣體需過(guò)濾顆粒物(0.1μm過(guò)濾器)。


          • 三、量程選擇建議

          • 常規(guī)量程參考

            應(yīng)用場(chǎng)景推薦量程傳感器類(lèi)型
            高純氣體(如氮?dú)?、氬氣?/td>0-10ppm電化學(xué)/激光光譜
            半導(dǎo)體工藝腔體0-100ppb氧化鋯/光學(xué)傳感器
            工業(yè)過(guò)程控制(如焊接)0-1000ppm電化學(xué)
            環(huán)境空氣監(jiān)測(cè)0-25% vol順磁/電化學(xué)
            • 精度需求:低濃度(ppb級(jí))優(yōu)選激光或氧化鋯傳感器;

            • 響應(yīng)速度:電化學(xué)傳感器響應(yīng)較慢(秒級(jí)),光學(xué)傳感器更快(毫秒級(jí));


            • 四、其他注意事項(xiàng)

            • 交叉干擾:如電化學(xué)傳感器可能受H?、CO?影響,需選擇抗干擾型號(hào);

            • 防爆要求:石化等場(chǎng)景需選防爆型(ATEX認(rèn)證);

            • 通過(guò)合理選型、規(guī)范維護(hù)和定期校準(zhǔn),可顯著提高微量氧檢測(cè)儀的可靠性和使用壽命。

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