微量氧檢測儀在工業(yè)生產(chǎn)、實驗室、半導體制造等領域應用廣泛,但其使用過程中常遇到一些問題。
傳感器壽命短
原因:
暴露于高濃度氧或腐蝕性氣體;高溫、高濕環(huán)境;頻繁校準不當。
解決:
避免傳感器接觸>1000ppm的氧濃度;在干燥、常溫環(huán)境下使用;定期校準(建議每3-6個月一次)。
讀數(shù)不穩(wěn)定或漂移
原因:
氣路污染(油脂、水分、顆粒物);傳感器老化;電磁干擾。
解決:
清潔氣路;更換傳感器;遠離變頻器、電機等干擾源。
響應速度慢
原因:
氣路堵塞或泄漏;傳感器性能下降。
解決:
檢查氣密性,確保流量穩(wěn)定、更換傳感器。
傳感器維護
電化學傳感器:定期檢查電解液是否干涸,儲存時密封避光;
氧化鋯傳感器:避免硫化物、鹵素氣體污染,高溫環(huán)境下需定期活化。
環(huán)境控制
檢測環(huán)境濕度需<60%RH(可加裝干燥管);
采樣氣體需過濾顆粒物(0.1μm過濾器)。
常規(guī)量程參考
應用場景 | 推薦量程 | 傳感器類型 |
---|---|---|
高純氣體(如氮氣、氬氣) | 0-10ppm | 電化學/激光光譜 |
半導體工藝腔體 | 0-100ppb | 氧化鋯/光學傳感器 |
工業(yè)過程控制(如焊接) | 0-1000ppm | 電化學 |
環(huán)境空氣監(jiān)測 | 0-25% vol | 順磁/電化學 |
精度需求:低濃度(ppb級)優(yōu)選激光或氧化鋯傳感器;
響應速度:電化學傳感器響應較慢(秒級),光學傳感器更快(毫秒級);
交叉干擾:如電化學傳感器可能受H?、CO?影響,需選擇抗干擾型號;
防爆要求:石化等場景需選防爆型(ATEX認證);
通過合理選型、規(guī)范維護和定期校準,可顯著提高微量氧檢測儀的可靠性和使用壽命。
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