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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
MCGILL透射電鏡樣品桿清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程離子清洗源設(shè)計(jì)，清洗快速高效。遠(yuǎn)程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷，同時(shí)可實(shí)現(xiàn)常規(guī)等離子清洗。主要用于TEM透射電鏡樣品桿的等離子體清洗和真空檢漏用途。
詳細(xì)介紹
MCGILL透射電鏡（TEM）樣品桿清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程離子清洗源設(shè)計(jì)，清洗快速高效。遠(yuǎn)程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷，同時(shí)可實(shí)現(xiàn)常規(guī)等離子清洗。主要用于TEM透射電鏡樣品桿的等離子體清洗和真空檢漏用途。
產(chǎn)品特點(diǎn)
u 遠(yuǎn)程等離子清洗源
u 一機(jī)多用
u 快速高效低損傷
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào) | MCGL-TEM |
等離子電源 | 13.56MHz等離子射頻電源，射頻功率5-150W可調(diào) |
遠(yuǎn)程等離子源，自動(dòng)匹配器 | |
清洗室 | 清洗室尺寸(長(zhǎng)X寬X高)Φ150XH150mm |
清洗數(shù)量 | 可同時(shí)清洗3支TEM樣品桿 |
適配品牌 | THERMO FISHER（FEI）、日立HITACHI、捷歐路JEOL |
氣體控制 | 標(biāo)配單路質(zhì)量流量計(jì)（MFC）可選雙路。50毫升/分，自動(dòng)控制氣體流量，不會(huì)受環(huán)境溫度和壓力變化影響 |
氣源選擇 | 根據(jù)需求氧氣、氬氣、氮?dú)?、氫氣等多種清洗氣源選擇 |
真空控制 | 皮拉尼真空計(jì)，測(cè)量范圍1E-5Torr |
真空保證 | 真空計(jì)和電磁閥安全互鎖 |
操控方式 | 7寸全彩觸摸屏控制，中英文互動(dòng)操作界面 |
電源 | 220V，50/60Hz，300W |
質(zhì)量保證 | 二年質(zhì)保，終身維護(hù) |
真空泵 | 渦輪式真空干泵 |
最大入口壓力1.0個(gè)大氣壓（0psig），最大出口壓力1.4個(gè)大氣壓（6.5psig） | |
最高抽速60L/min，極限真空3.3 x 10-1 mbar | |
KF25入口接口 |