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API激光干涉儀產(chǎn)品參數(shù)

時間:2022/6/6閱讀:1313
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API激光干涉儀產(chǎn)品參數(shù)

API激光干涉儀XD Laser的技術參數(shù):

1.1D激光主要可以測量定位誤差

2.3D激光可以測量定位誤差、直線度誤差(雙向)

3.5D/6D激光可以測量定位誤差、直線度誤差(雙向)、偏擺角、俯仰角和滾動角 

4.5D/6D標準型技術參數(shù):

1) 線性:0.5ppm .

2) 測量范圍:40米(1D可選80米)

3) 線性分辨力:0.001um.

4) 偏擺角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值

5) 范圍:800角秒

6) 滾動角精度:1.0角秒

7) 直線度精度:(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值

8) 直線度范圍:500um

9) 垂直度精度:1角秒

10) 溫度精度:0.2攝氏度

11) 濕度精度:5%

12) 壓力精度:1mmHg

API激光干涉儀


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