合肥2噸半導(dǎo)體超純水設(shè)備廠家需結(jié)合RO+EDI+拋光混床+UV工藝，選用PVDF/316L材質(zhì)，配套全自動控制系統(tǒng)，確保水質(zhì)符合SEMI F57標(biāo)準(zhǔn)。

合肥2噸半導(dǎo)體超純水設(shè)備廠家方案

一、核心工藝設(shè)計

1. 預(yù)處理系統(tǒng)

• 多介質(zhì)過濾器：去除懸浮物、膠體、鐵銹等雜質(zhì)（精度≥5μm）。

• 活性炭過濾器：吸附余氯、有機物，防止RO膜氧化。

• 軟化器（可選）：降低鈣鎂離子濃度，防止RO結(jié)垢（原水硬度較高時必選）。

2. 反滲透（RO）系統(tǒng)

• 高壓泵：316L不銹鋼材質(zhì)，提供RO膜運行壓力（1.0-1.5MPa）。

• RO膜組：陶氏BW30-400IG DRY或同類膜，脫鹽率≥99%，產(chǎn)水2噸/小時。

• 回收率：60-75%（根據(jù)原水TDS調(diào)整）。

3. 后處理精制單元

• 電去離子（EDI）裝置：連續(xù)去除殘余離子，出水電阻率≥15MΩ·cm。

• 拋光混床：核級混床樹脂，進一步降低電導(dǎo)率至≥18.2MΩ·cm。

• 紫外線殺菌器：254nm波長，滅殺微生物，防止儲水箱二次污染。

• TOC去除裝置（可選）：UV氧化或活性炭吸附，控制總有機碳＜5ppb。

4. 儲存與分配系統(tǒng)

• PVDF/316L不銹鋼儲水箱：帶氮氣保護或循環(huán)系統(tǒng)，避免CO?吸收。

• 超純水分配管道：316L不銹鋼+UF過濾器，多點監(jiān)測電阻率（＞18.2MΩ·cm）。

二、設(shè)備技術(shù)參數(shù)

三、出水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)

• 電阻率：≥18.2MΩ·cm（25°C）

• 顆粒物：＜10ppt（＞0.2μm）

• 微生物：＜1CFU/mL（UV+EDI抑制生物膜）

• 金屬離子：Na?＜10ppb，F(xiàn)e?3＜1ppb，Cu2?＜0.1ppb

• TOC：＜5ppb（可選＜10ppb）

四·合規(guī)與認(rèn)證

1. 遵循標(biāo)準(zhǔn)：

• 國際：SEMI F57（半導(dǎo)體超純水標(biāo)準(zhǔn)）、ASTM D5127（TOC檢測）5；

• 中國：電子級超純水國家標(biāo)準(zhǔn)（GB/T 11446.1）。

2. 驗證文件：

• DQ（設(shè)計確認(rèn)）、IQ（安裝確認(rèn)）、OQ（運行確認(rèn)）、PQ（性能確認(rèn)）45。

五、維護要點

1. 日常維護：

• 檢查預(yù)處理壓差，定期更換濾芯（每3-6個月）；

• 記錄RO進水/出水電導(dǎo)率、EDI電流、TOC值等參數(shù)15。

2. 化學(xué)清洗：

• RO膜每6-12個月酸/堿洗一次（視原水水質(zhì)）45。

3. 消毒管理：

• 儲水箱每周臭氧循環(huán)消毒，管道每月沖洗