MKS 射頻電源 Elite 750 RF Generator 是一款經過長期實際驗證的優(yōu)秀且可靠的射頻電源，Elite 750FP-01 RF Generator 采用風冷全機架外殼，具有Profibus和RS232接口。MKS Elite RF Generator在緊湊的風冷封裝中提供了優(yōu)良可靠的技術，每個Elite射頻電源設計由高速閉環(huán)控制，E類射頻功率放大器和開關調制器的優(yōu)秀輸出性能。它的設計采用了單一PCB電路板組裝的全機架產品，幾乎避免了所有的內部電線和連接器，從而提供了高可靠性。Elite 射頻電源可用于連續(xù)操作的源或偏置發(fā)生器或作為獨立的工作設備，非常適合于光伏產業(yè)、LED、微機電系統(tǒng)和半導體應用。

MKS 射頻電源 Elite 750 RF Generator 參數(shù)規(guī)格

設備品牌：MKS

設備型號：ELITE 750FP-01

AC Input：110~253VAC，1 phase~，50/60Hz

RF Output：750W（±2%），13.56Mhz（±0.005%）

輸出穩(wěn)定性：-20 dBc

諧波輸出：-30dBc

通訊接口：Profibus，RS-232C，Analog interface

散熱：風冷散熱

工作環(huán)境溫度：5℃~40℃

設備尺寸：2U，F(xiàn)ull rack：17 * 15 * 3.5 inches

設備重量：9.2kg