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當前位置：江蘇神州半導體科技有限公司>>射頻電源（RF）>> DAIHEN FGA-65ADAIHEN 高頻射頻電源 FGA-65A 40.68MHz
MKS 射頻電源 53-S30-64 63.87MHz 18KW
ASE 射頻電源 APG-3000PRO RF Generator
DAIHEN 射頻電源 NX-HGA-30B1 100MHz 3000
| 供貨周期 | 現(xiàn)貨 | 貨號 | 2L39-000171-11 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,電子/電池,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | DAIHEN | 型號 | FGA-65A |
| P/N | 2L39-000171-11 | 頻率 | 40.68MHz |
| 輸出功率 | 6500W |
DAIHEN 高頻射頻電源 FGA-65A 40.68MHz 6500W RF Generator 是經過長期驗證的高性能射頻發(fā)生器，是面向核心等離子體應用的業(yè)界前沿的可重復電源。該系列射頻電源具有優(yōu)秀的成膜能力，廣泛應用在半導體制程的薄膜工藝中，堅固耐用，為等離子工藝提供了優(yōu)秀的可靠性。設備整體采用了緊湊設計，降低了客戶的使用成本。該系列電源設備經過了嚴格的設計和可靠性測試，實現(xiàn)了高可靠性和耐久性，射頻輸出控制的精度高，整個輸出范圍內輸出功率穩(wěn)定。
DAIHEN 高頻射頻電源 FGA-65A 40.68MHz 參數(shù)規(guī)格
設備品牌：DAIHEN
設備型號：FGA-65A
AC電源輸入：3 phase~ ，180~242V，40A，50/60Hz
RF射頻輸出：40.68MHz，6500W
通訊接口：RS-232C，Analog I/F，Pulse，DeviceNet
設備散熱：水冷散熱
水冷進水Torque：30N·m（Max）
設備重量：93kg
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