ADTEC 射頻電源 AXR-2000Ⅲ 13.56MHz 2000W RF Generator 是經(jīng)過實機長期驗證的性能優(yōu)秀、穩(wěn)定可靠的射頻發(fā)生器。 該款射頻電源具有優(yōu)良的成膜能力，成膜速度快，效率高，在半導體薄膜工藝中被廣泛應(yīng)用，堅固耐用，為等離子工藝提供了優(yōu)秀的可靠性。該系列電源設(shè)備經(jīng)過了嚴格的設(shè)計和可靠性測試，實現(xiàn)了高可靠性和耐久性，射頻輸出控制的精度高，能夠?qū)崿F(xiàn)精準控制，整個輸出范圍內(nèi)的輸出功率穩(wěn)定，從而提高產(chǎn)線效率和產(chǎn)品良率，降低損耗和使用成本。

ADTEC 射頻電源 AXR-2000Ⅲ 13.56MHz 2000W 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：ADTEC

設(shè)別型號：AXR-2000Ⅲ

AC電源輸入：3 phase~ ，AC200~220V，50/60Hz，4.1kVA

RF射頻輸出：2000W，13.56MHz

通訊接口：Remote Control，RS-232C，EXT-Input

設(shè)備散熱：風冷散熱