此款壓力調(diào)節(jié)/控制閥為直通式設(shè)計(jì)，測控范圍從20Pa到30MPA（絕壓和表壓皆可）。產(chǎn)品精確度高、重復(fù)性好，分為前壓(上游壓力)控制和背壓控制(下游壓力)、密閉容器控制三種。
標(biāo)配一個(gè)壓電膜片式壓力傳感器和數(shù)字電路板，提供高精度、穩(wěn)定、可靠的壓力測量和控制。該基本數(shù)字PC板具有測量和控制所需的所有基本功能。除了配備標(biāo)準(zhǔn)的RS485輸出信號，還提供模擬I/O信號。
此款壓力調(diào)節(jié)器可裝配一體式控制閥或分體式控制閥。它是一種比例式電磁控制閥，具有超快和平穩(wěn)控制的特性。我們有不同系列的控制閥對應(yīng)特定的應(yīng)用領(lǐng)域。常規(guī)應(yīng)用下，使用標(biāo)準(zhǔn)的直動閥，高流速應(yīng)用下，使用先導(dǎo)閥。
應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體工藝，氣相和液相色譜儀，MOCVD過程中蒸汽壓力控制，擠塑成型過程中氣體壓力保護(hù)控制，高壓釜/反應(yīng)釜壓力控制、管路上、下游壓力控制。
以下是通用參數(shù)，如果有特殊的要求可以與頁面的產(chǎn)品經(jīng)理溝通定制：
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