與功能僅限于打開和關閉的真空隔離閥不同，真空控制閥可以控制體積流量。這通常通過縮小或加寬閥門通道實現(xiàn)的。控制范圍因調節(jié)閥的設計原理而異。這也稱為可用電導譜。具有非常大電導譜的閥門通常比具有小電導譜的閥門允許更精細的體積控制。然而，設計原理和驅動類型對于閥門控制的精細度和精度也具有決定性作用。真空控制閥主要是電驅動的，因為電驅動通常允許閥板非常精細和快速的位置變化。兩者對于精確控制都至關重要。然而，除了電動控制閥外，還有氣動解決方案，例如，移動到機械預定義的控制位置或手動解決方案。真空控制閥也可作為無隔離功能的純控制閥使用，即它們從不密封并始終允許最小的殘余體積流量，或者作為控制和隔離閥也可以中斷體積流量。

真空控制閥有多種不同的設計，因為真空系統(tǒng)的控制要求千差萬別。因此，在選擇真空控制閥時，以下標準是決定性的：

1）閥門所要控制的最大壓差水平。如果它還具有隔離功能，就不一定是閥門關閉時能承受的最大壓差。
2）所要求的電導率譜的大小和其控制范圍。
3）流速的大小
4）進行體積流量變化的速度
5）對體積流中的副產(chǎn)品或一般的侵蝕性介質的抵抗力。
6）對流量變化的敏感性，如控制過程引起的湍流。
7）對可能通過閥門排放的顆粒的敏感性。
8）閥門使用的環(huán)境溫度和控制的環(huán)境溫度。
9）可控性的類型為線性流量變化或動態(tài)變化，在所謂的控制曲線中，控制速度可以獨立于閥板的位置而控制。

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