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TXRF 3760 系列日本理學(xué)RIGAKUT 全內(nèi)反射 X 射線熒光光譜儀

時(shí)間:2025/4/23閱讀:176
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TXRF 3760 系列

全內(nèi)反射 X 射線熒光光譜儀

對(duì)晶圓表面的污染進(jìn)行無損、非接觸式和高靈敏度分析

轉(zhuǎn)子式高功率 X 射線發(fā)生器和新設(shè)計(jì)的入射 X 射線單色器

過渡金屬 LLD 10 采用直接 TXRF 測(cè)量方法8 原子/厘米2達(dá)到水平。 在封閉 X 射線管測(cè)量時(shí)間的 1/3 內(nèi)即可實(shí)現(xiàn)相同的精度,從而實(shí)現(xiàn)高通量。


TXRF 3760 表面污染計(jì)量系統(tǒng)


TXRF 3760 規(guī)格

產(chǎn)品名稱TXRF 3760 系列
技術(shù)全內(nèi)反射 X 射線熒光 (TXRF)
從 Na 到 You 的元素分析以測(cè)量晶圓污染
科技帶無液氮檢測(cè)器的 3 光束 TXRF 系統(tǒng)
主要組件適用于最大 200 mm 晶圓的 XYθ 樣品臺(tái)系統(tǒng)、真空晶圓中的機(jī)器人傳輸系統(tǒng)、ECS/GEM 通信軟件
選擇Sweep TXRF 軟件(能夠映射晶圓表面的污染物分布以識(shí)別“熱點(diǎn)")。 ZEE-TXRF 功能可實(shí)現(xiàn)零邊沿排除測(cè)量)
控制 (PC)內(nèi)部 PC、MS Windows®作系統(tǒng)
本體尺寸1000 (寬) x 1760 (高) x 948 (深) 毫米
質(zhì)量100 kg(主機(jī))
權(quán)力三相 200 VAC 50/60 Hz,100 A



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