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愛(ài)安德分享什么是測(cè)量顯微鏡？
測(cè)量顯微鏡是一種尺寸測(cè)量裝置，可根據(jù)使用顯微鏡放大和觀察的圖像來(lái)測(cè)量尺寸。
它結(jié)合了具有精確放大倍率的光學(xué)顯微鏡、用于比較測(cè)量的模板以及用于在平面上精確移動(dòng)測(cè)量工件的XY 平臺(tái)。使用測(cè)量顯微鏡可以進(jìn)行非接觸式測(cè)量，從而可以在不損壞工件的情況下觀察輪廓和表面。
測(cè)量顯微鏡通常使用遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)。近年來(lái)，一些型號(hào)在光學(xué)頭中采用了無(wú)限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)，可以進(jìn)行微分干涉觀察和簡(jiǎn)單的偏振觀察。
除了測(cè)量尺寸外，它還可以用于使用偏振光和微分干涉進(jìn)行觀察，例如檢測(cè)半導(dǎo)體基板上的劃痕。由于放大倍數(shù)的準(zhǔn)確性，通過(guò)使用模板進(jìn)行比較測(cè)量來(lái)確定產(chǎn)品是否在公差范圍內(nèi)，對(duì)于簡(jiǎn)單的檢查也很有用。
測(cè)量顯微鏡既可以用作測(cè)量裝置，也可以用作顯微鏡，并且一臺(tái)裝置可以用于多種用途。
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