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當(dāng)前位置:天津泰諾科學(xué)技術(shù)有限公司>>電鏡實驗室常規(guī)設(shè)備>> 108AutoCressington 108Auto 全自動離子濺射儀

Cressington 108Auto 全自動離子濺射儀

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產(chǎn)品型號108Auto

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地

更新時間:2024-11-19 11:05:50瀏覽次數(shù):440次

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Cressington 108Auto 全自動離子濺射儀是用于掃描電鏡的高質(zhì)量的鍍膜儀系統(tǒng)●自動的換氣與泄氣功能,可以得到一致的膜厚,和的導(dǎo)電噴鍍效果?!裢ㄟ^高效低壓直流磁控頭進行冷態(tài)精細的噴鍍過程,避免樣品表面受損?!癫僮魅菀卓旖?,可全自動或手動進行噴鍍操作,控制的參數(shù)包括自動放氣以及氬氣換氣控制?!裨谧詣幽J较?,可通過兩種方式進行控制鍍膜過程。可通過數(shù)字顯示器控制得到可重現(xiàn)的噴鍍效果。●可配備 MTM-10 高分辨膜厚監(jiān)控儀(選件)(分辨率優(yōu)于 0.1nm,-99.9nm 到+999.9nm)●數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響,可得到一致的鍍膜速率和的鍍膜效果?!窨墒褂枚喾N金屬靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd,靶材更換快速方便。

技術(shù)規(guī)格:

樣品倉尺寸:   120 x 120mm(高)   (4.75 x 4.75"),高強度不銹鋼結(jié)構(gòu)

樣品臺:可放置12 個標準 SEM 樣品座,高度可在   60mm 內(nèi)調(diào)節(jié)

濺鍍優(yōu)點:基于微處理器反饋控制,遠程電流/電壓感應(yīng);提供真空安全聯(lián)鎖裝置,最180A,配有過流保護

濺射控制:微處理器控制,安全互鎖,可調(diào),電流40mA,程序化數(shù)字控制

濺射頭:低電壓平面磁控管,靶材更換快速,環(huán)繞暗區(qū)護罩

模擬計量:真空   Atm - 0.01mb   電流: 0 - 200A

厚度監(jiān)測器:   MTM-10 高精度厚度監(jiān)測器(選配)

控制方式:自動氣體換氣和泄氣功能,自動處理排序,帶有“暫停"控制的數(shù)字定時器0300s),自動放氣

電源:200-240 VAC, 50/60Hz

功率:1000VA (包括鍍碳機和真空系統(tǒng))

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